超声波清洗方法和装置制造方法及图纸

技术编号：9174805 阅读：129 留言：0更新日期：2013-09-20 00:04

本发明专利技术提供一种即便粘接剂成分附着在硬质基板上时也能够可靠地清洗除去的超声波清洗方法。该超声波清洗方法依次进行下述（1）～（5）的工序。（1）使表面附着有粘接剂的硬质基板浸渍于25～60℃的芳香族醇系清洗液的工序；（2）一边保持通过工序（1）浸渍硬质基板的状态，一边利用超声波的振荡清洗硬质基板上的粘接剂的工序；（3）接着，使硬质基板浸渍于25～60℃的二醇醚系清洗液的工序；（4）一边保持通过工序（3）浸渍硬质基板的状态，一边利用超声波的振荡洗去附着在硬质基板上的上述芳香族醇系清洗液的工序；（5）接着，用水洗掉附着在硬质基板上的上述二醇醚系清洗液和芳香族醇系清洗液的工序。