一种曲面金属图形的制作方法和曲面金属图形基板技术

技术编号:9174521 阅读:120 留言:0更新日期:2013-09-19 23:44
本发明专利技术提供了一种曲面金属图形的制作方法和曲面图形基板。该曲面金属图形的制作方法包括:对曲面载体表面进行金属镀膜,以使曲面载体表面形成金属层;在金属层上形成抗蚀膜,其中抗蚀膜遇光照射后固化;将具有预设图案的曲面光罩与抗蚀膜贴合,并对其曝光,以固化未被曲面光罩遮盖的抗蚀膜;移除曲面光罩,然后对抗蚀膜进行清洗,以移除未固化的抗蚀膜;对金属层进行刻蚀,去除未固化的抗蚀膜所对应的金属层,以形成与预设图案相对应的曲面金属图形。本发明专利技术通过对曲面载体镀铜以形成金属层,并在金属层表面涂布抗蚀膜,继而对其进行曝光、刻蚀、显影,形成所需金属图形。本发明专利技术由于在异型三维曲面上制作精密金属线图案,从而可实现异型三维曲面线路印制以及超材料的制作。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种曲面金属图形的制作方法,其特征在于,包括:对曲面载体表面进行金属镀膜,以使所述曲面载体表面形成金属层;在所述金属层上形成抗蚀膜,其中所述抗蚀膜遇光照射后固化;将具有预设图案的曲面光罩与所述抗蚀膜贴合,并对所述抗蚀膜进行曝光,以固化未被所述曲面光罩遮盖的所述抗蚀膜;移除所述曲面光罩,然后对所述抗蚀膜进行清洗,以移除未固化的所述抗蚀膜;对所述金属层进行刻蚀,去除未固化的所述抗蚀膜所对应的金属层,以形成与所述预设图案相对应的所述曲面金属图形。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:刘若鹏赵治亚寇超锋谢滔
申请(专利权)人:深圳光启创新技术有限公司
类型:发明
国别省市:

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