基板渗金属设备制造技术

本发明专利技术公开了一种基板渗金属设备，包括：基座、上板、真空压力仓、滑盖驱动件、滑盖、盖板、真空阀、充气阀、驱动器、移动组件和模组套；上板设在基座上且设有容纳腔，容纳腔内设有坩埚和第一加热装置，坩埚的底壁设有开口；真空压力仓设在上板的下表面上且内部限定出与容纳腔连通的仓室，仓室内设有第二加热装置；滑盖驱动件与滑盖相连以驱动滑盖水平移动；盖板设在上板上以封盖容纳腔，盖板上设有进料通道和进料阀；真空阀和充气阀设在盖板或者上板上且与容纳腔连通；驱动器设在基座上；移动组件由驱动器驱动在第一位置和第二位置之间可上下移动；模组套内盛放有基板且设在移动组件上。本发明专利技术的基板渗金属设备效率高，成本低，且性能可靠。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及冶金工业
，尤其涉及一种基板渗金属设备。
技术介绍
随着冶金工业的不断发展，将金属原子渗入到基板表面层的渗金属技术得到了较为广泛的应用。相关技术中，通过上下分层的炉体进行压渗，上层金属融化后，加正压，并继续加热，直到把金属塞融化，让金属液沿管道流下来，再融化密封材料，金属液流到模具上面进行压渗，这样金属液从上层流到下层的过程中，融进了金属塞和密封材料，对金属液有污染，会直接影响产品的性能，并且金属熔化和铸造模具都在炉体里加热，时间长，效率低。在另一些技术中，在本体上挖出一个大的圆柱通腔，本体上部有与通腔连通的金属液注口，本体下部有与通腔连通的抽真空口，下冲头上升到本体上表面，装上有模具的骨架下降到金属液注口注金属液，接着继续下到抽真空口，上冲头同时下压将金属液注口封住，抽真空，抽好真空之后，下冲头上升堵住抽真空口，形成密闭的空间，上冲头下降给金属液施加压力，让金属液渗入骨架，这样注金属液通道在本体里，难以对其保温，金属液易凝固堵住注液通道，而且抽真空时易把金属液抽进真空通道，严重时会堵住真空通道，性能不稳定。
技术实现思路
本专利技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本专利技术提出一种基板渗金属设备，该基板渗金属设备不仅效率高，成本低，而且性能可靠，生产的产品性能稳定。根据本专利技术实施例的基板渗金属设备，包括：基座；上板，所述上板设在所述基座上，所述上板上设有顶部敞开的容纳腔，所述容纳腔内设有坩埚和用于对所述坩埚进行加热的第一加热装置，所述坩埚的底壁设有开口；真空压力仓，所述真空压力仓设在所述上板的下表面上，所述真空压力仓内限定出仓室，所述仓室内设有第二加热装置，所述仓室与所述容纳腔连通；滑盖驱动件和用于打开或关闭所述开口的滑盖，所述滑盖驱动件与所述滑盖相连以驱动所述滑盖水平移动地设在所述上板内；盖板，所述盖板设在所述上板上以封盖所述容纳腔，所述盖板上设有进料通道和用于打开或关闭所述进料通道的进料阀；真空阀和充气阀，所述真空阀设在所述盖板或者所述上板上且与所述容纳腔连通，所述充气阀设在所述盖板或者所述上板上且与所述容纳腔连通；驱动器，所述驱动器设在所述基座上；移动组件，所述移动组件在第一位置和第二位置之间可上下移动地设在所述基座上且位于所述真空压力仓的下方，所述移动组件与所述驱动器相连以由所述驱动器驱动移动；盛放有基板的模组套，所述模组套可拆卸地设在所述移动组件上，在第一位置，所述模组套位于所述仓室内且所述移动组件与所述真空压力仓接触以密封所述仓室，在所述第二位置，所述模组套位于所述仓室的下方。根据本专利技术实施例的基板渗金属设备，通过将模组套设在移动组件上，利用驱动器驱动移动组件在第一位置和第二位置之间上下移动，并通过滑盖驱动件驱动滑盖打开或关闭坩埚底壁上的开口，利用第一加热装置和第二加热装置分别对坩埚和仓室内的模组套加热，同时，通过进料阀控制盖板上的进料通道，并利用真空阀和充气阀对仓室内的压力进行控制，不仅效率高，成本低，而且性能可靠，生产的产品性能稳定。具体地，所述移动组件包括动板和下封板，所述下封板设在所述动板的上表面上，所述驱动器与所述动板相连，在所述第一位置，所述下封板与所述真空压力仓接触。进一步地，还包括限位柱，所述限位柱设在所述上板上且位于所述真空压力仓的外侧，所述限位柱的下端位于所述真空压力仓的下表面的下方。具体地，所述盖板上设有抽气口和充气口，所述抽气口和所述充气口分别与所述容纳腔连通，所述真空阀和所述充气阀分别与所述抽气口和所述充气口相连。可选地，所述第一加热装置为电磁感应线圈。可选地，所述第二加热装置为电磁感应线圈。优选地，所述驱动器为油压机。可选地，所述基板为IGBT基板。优选地，所述盖板上设有漏斗以限定出所述进料通道。具体地，所述坩埚和所述第一加热装置分别可拆卸地设在所述容纳腔内。附图说明图1是根据本专利技术实施例的基板渗金属设备的剖视图；图2是根据本专利技术实施例的基板渗金属设备的剖视图；图3是根据本专利技术实施例的基板渗金属设备的立体图；图4是根据本专利技术实施例的基板渗金属设备的模组套的结构示意图；以及图5是根据本专利技术实施例的基板渗金属设备的模组套的盆口的局部示意图。附图标记：100：基板渗金属设备；1：基座；2：上板；21：容纳腔；22：坩埚；221：开口；23：第一加热装置；3：真空压力仓；31：仓室；32：第二加热装置；4：滑盖驱动件；5：滑盖；6：盖板；61：进料通道；62：进料阀；63：漏斗；7：真空阀；71：抽气口；8：充气阀；81：充气口；9：驱动器；10：移动组件；11：模组套；12：基板；13：动板；14：下封板；16：限位柱；17：盆口；18：盆口开口。具体实施方式下面详细描述本专利技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本专利技术的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。在本专利技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接或彼此可通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。在本专利技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。下面参考图1-图5详细描述根据本专利技术实施例的基板渗金属设备100。如图1所示，根据本专利技术实施例的基板渗金属设备100可以包括：基座1、上板2、真空压力仓3、滑盖驱动件4、滑盖5、盖板6、真空阀7、充气阀8、驱动器9、移动组件10和模组套11。具体而言，如图1和图2所示，上板2可以设在基座1上，上板2上可设有顶部敞开的容纳腔21，容纳腔21内可以设有坩埚22和用于对坩埚22内的金属加热的第一加热装置23，且坩埚22的底壁上可设有本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板渗金属设备，其特征在于，包括：基座；上板，所述上板设在所述基座上，所述上板上设有顶部敞开的容纳腔，所述容纳腔内设有坩埚和用于对所述坩埚进行加热的第一加热装置，所述坩埚的底壁设有开口；真空压力仓，所述真空压力仓设在所述上板的下表面上，所述真空压力仓内限定出仓室，所述仓室内设有第二加热装置，所述仓室与所述容纳腔连通；滑盖驱动件和用于打开或关闭所述开口的滑盖，所述滑盖驱动件与所述滑盖相连以驱动所述滑盖水平移动地设在所述上板内；盖板，所述盖板设在所述上板上以封盖所述容纳腔，所述盖板上设有进料通道和用于打开或关闭所述进料通道的进料阀；真空阀和充气阀，所述真空阀设在所述盖板或者所述上板上且与所述容纳腔连通，所述充气阀设在所述盖板或者所述上板上且与所述容纳腔连通；驱动器，所述驱动器设在所述基座上；移动组件，所述移动组件在第一位置和第二位置之间可上下移动地设在所述基座上且位于所述真空压力仓的下方，所述移动组件与所述驱动器相连以由所述驱动器驱动移动；盛放有基板的模组套，所述模组套可拆卸地设在所述移动组件上，在第一位置，所述模组套位于所述仓室内且所述移动组件与所述真空压力仓接触以密封所述仓室，在所述第二位置，所述模组套位于所述仓室的下方。...

【技术特征摘要】
1.一种基板渗金属设备，其特征在于，包括：基座；上板，所述上板设在所述基座上，所述上板上设有顶部敞开的容纳腔，所述容纳腔内设有坩埚和用于对所述坩埚进行加热的第一加热装置，所述坩埚的底壁设有开口；真空压力仓，所述真空压力仓设在所述上板的下表面上，所述真空压力仓内限定出仓室，所述仓室内设有第二加热装置，所述仓室与所述容纳腔连通；滑盖驱动件和用于打开或关闭所述开口的滑盖，所述滑盖驱动件与所述滑盖相连以驱动所述滑盖水平移动地设在所述上板内；盖板，所述盖板设在所述上板上以封盖所述容纳腔，所述盖板上设有进料通道和用于打开或关闭所述进料通道的进料阀；真空阀和充气阀，所述真空阀设在所述盖板或者所述上板上且与所述容纳腔连通，所述充气阀设在所述盖板或者所述上板上且与所述容纳腔连通；驱动器，所述驱动器设在所述基座上；移动组件，所述移动组件在第一位置和第二位置之间可上下移动地设在所述基座上且位于所述真空压力仓的下方，所述移动组件与所述驱动器相连以由所述驱动器驱动移动；盛放有基板的模组套，所述模组套可拆卸地设在所述移动组件上，在第一位置，所述模组套位于所述仓室内且所述移动组件与所述真空压力仓接触以密封所述仓室，在所述第二位置，所述模组套位于所述仓室的下方。2.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵树明，王亚楠，陈国聪，王晓华，陈秋绘，张昌才，宫清，
申请(专利权)人：比亚迪股份有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44