【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种逆导IGBT芯片,其特征在于,包括,第一导电类型衬底,所述衬底包括第一表面和第二表面,所述第一表面和所述第二表面相对,所述第一表面包括第一子表面、第二子表面和第三子表面,其中,所述第二子表面围绕所述第一子表面,所述第三子表面围绕所述第二子表面;位于所述衬底第一表面之上的第一表面结构,所述第一表面结构包括,位于所述衬底第一子表面上的IGBT区,位于所述衬底第二子表面上的FRD区,以及位于衬底第三子表面上的终端区;所述IGBT区和所述FRD区均包括若干个并联的IGBT元胞,每个所述IGBT元胞包括第二导电类型的基区,所述FRD区还包括第二导电类型的扩散阱,所述扩散阱的结深大 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:刘国友,覃荣震,黄建伟,
申请(专利权)人:株洲南车时代电气股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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