【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种用于镀膜制程的气体释出装置，其特征在于，包含有：二板件，分别具有一顶面、一底面，以及一邻接该顶、底两面的接合侧面，该二板件藉由该二接合侧面相互接合在一起，各个板件的接合侧面具有一进气槽，该进气槽的顶端于该顶面形成一进气口，该进气槽的底端衔接一第一分配槽，该第一分配槽的两端分别衔接一第二分配槽，各个第二分配槽的两端分别衔接一第三分配槽，各个第三分配槽的两端分别衔接一第四分配槽，各个第四分配槽的两端分别衔接一第五分配槽，各个第五分配槽的底端于该底面形成一排气口。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：黄世壬，廖科峰，赖文波，陈君健，黎胜，孟良，曾昭隆，陈官璧，
申请(专利权)人：生阳新材料科技宁波有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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