【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种CMOS,其特征在于,包括:半导体衬底,所述半导体衬底具有第一区域和第二区域,所述第一区域的半导体衬底表面具有第一鳍部,所述第一鳍部的掺杂类型为N型,所述第二区域的半导体衬底表面具有第二鳍部,所述第二鳍部的掺杂类型为P型;位于所述第一鳍部底部两侧的第一侧墙;位于所述第一鳍部顶部两侧的第二侧墙,所述第二侧墙具有拉应力;位于所述第二鳍部底部两侧的第三侧墙,所述第三侧墙具有拉应力;位于所述第二鳍部顶部两侧的第四侧墙。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:鲍宇,
申请(专利权)人:中芯国际集成电路制造上海有限公司,
类型:发明
国别省市:
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