X射线探测器及其制造方法技术

技术编号:9144529 阅读:138 留言:0更新日期:2013-09-12 05:55
本申请公开了一种X射线探测器及其制造方法。该X射线探测器,包括:互连基板;穿透互连基板并在其两个主表面上露出的键合互连;与互连基板的一个主表面键合的光电转换器件芯片;以及与互连基板的另一个主表面键合的CMOS像素读出芯片,其中,键合互连将光电转换器件芯片的焊盘与CMOS像素读出芯片的焊盘电连接。根据本发明专利技术的X射线探测器可以简化工艺、提高可靠性和成品率。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种X射线探测器,包括:互连基板;穿透互连基板并在其两个主表面上露出的键合互连;与互连基板的一个主表面键合的光电转换器件芯片;以及与互连基板的另一个主表面键合的CMOS像素读出芯片,其中,键合互连将光电转换器件芯片的焊盘与CMOS像素读出芯片的焊盘电连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:殷华湘王玉光董立军陈大鹏
申请(专利权)人:中国科学院微电子研究所
类型:发明
国别省市:

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