【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种X射线探测器,包括:互连基板;穿透互连基板并在其两个主表面上露出的键合互连;与互连基板的一个主表面键合的光电转换器件芯片;以及与互连基板的另一个主表面键合的CMOS像素读出芯片,其中,键合互连将光电转换器件芯片的焊盘与CMOS像素读出芯片的焊盘电连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:殷华湘,王玉光,董立军,陈大鹏,
申请(专利权)人:中国科学院微电子研究所,
类型:发明
国别省市:
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