CMOS图像传感器制造技术

技术编号:9130175 阅读:142 留言:0更新日期:2013-09-06 00:19
一种CMOS图像传感器,包括:基底,所述基底包括第一像素区域和与之相邻的第二像素区域;位于所述基底内的浅沟槽,所述浅沟槽位于第一像素区域和第二像素区域之间;覆盖所述浅沟槽的底部和侧壁的隔离层;位于所述浅沟槽内的隔离层表面的导电层;覆盖所述导电层的介电层,所述介电层和隔离层共同包裹所述导电层。所述CMOS图像传感器的性能稳定,互连金属线的开口率增加,对光线的敏感度增加。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种CMOS图像传感器,其特征在于,包括:基底,所述基底包括第一像素区域和与之相邻的第二像素区域;位于所述基底内的浅沟槽,所述浅沟槽位于第一像素区域和第二像素区域之间;覆盖所述浅沟槽的底部和侧壁的隔离层;位于所述浅沟槽内的隔离层表面的导电层;覆盖所述导电层的介电层,所述介电层和隔离层共同包裹所述导电层。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:李杰
申请(专利权)人:格科微电子上海有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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