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X射线探测器及其制造方法技术
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下载X射线探测器及其制造方法的技术资料
文档序号:9144529
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本申请公开了一种X射线探测器及其制造方法。该X射线探测器,包括:互连基板;穿透互连基板并在其两个主表面上露出的键合互连;与互连基板的一个主表面键合的光电转换器件芯片;以及与互连基板的另一个主表面键合的CMOS像素读出芯片,其中,键合互连将光...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。
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