X射线平板探测器及其制造方法技术

技术编号:9144528 阅读:172 留言:0更新日期:2013-09-12 05:55
根据本发明专利技术的一方面,提供一种X射线平板探测器及其制造方法。X射线平板探测器包括按照矩阵排列的多个像素单元,每一个像素单元包括在绝缘衬底上集成在一起的一个传感器和一个像素读出电路,其中,所述像素读出电路包括位于至少一个薄膜晶体管,所述至少一个薄膜晶体管位于所述传感器的上电极下方,并且所述至少一个薄膜晶体管中的至少一个与所述传感器相连接。根据本发明专利技术的X射线平板探测器可以将传感器和复杂的像素读出电路集成在一起,以获得改善的图像质量和降低的制造成本。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种X射线平板探测器,包括按照矩阵排列的多个像素单元,每一个像素单元包括在绝缘衬底上集成在一起的一个传感器和一个像素读出电路,其中,所述像素读出电路包括位于至少一个薄膜晶体管,所述至少一个薄膜晶体管位于所述传感器的上电极下方,并且所述至少一个薄膜晶体管中的至少一个与所述传感器相连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:殷华湘王玉光董立军陈大鹏
申请(专利权)人:中国科学院微电子研究所
类型:发明
国别省市:

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