平板玻璃的制造方法技术

本发明专利技术涉及一种平板玻璃制造方法，其是将玻璃原料熔化而制成熔融玻璃、并将该熔融玻璃利用成形装置成形为板状的玻璃带、然后将该玻璃带利用缓冷装置进行缓冷的平板玻璃制造方法，该平板玻璃制造方法中，所述平板玻璃包含无碱玻璃，在将所述无碱玻璃的应变点设为Tst(℃)时，在Tst+70℃～Tst-50℃的温度范围内，以使所述玻璃带的下表面的直接下方的SO2和/或SO3气氛浓度达到500～20000ppm的时间为30秒以上的方式供给SO2和/或SO3气体。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及适合作为各种显示器用基板玻璃、光掩模用基板玻璃的包含无碱玻璃的平板玻璃的制造方法。以下，在本说明书中，在说到“无碱”的情况下，是指碱金属氧化物(Li2O、Na2O、K2O)的含量为2000摩尔ppm以下。
技术介绍
以往，对于各种显示器用基板玻璃、特别是在表面形成有金属或氧化物薄膜等的显示器用基板玻璃，要求以下所示的特性。(1)含有碱金属氧化物时，碱金属离子扩散到薄膜中而使膜特性劣化，因此，要求碱金属氧化物的含量极低，具体而言，要求碱金属氧化物的含量为2000摩尔ppm以下。(2)在薄膜形成工序中处于高温时，为了能够将伴随玻璃的变形和玻璃的结构稳定化的收缩(热收缩)抑制在最小限度，要求应变点高。(3)要求对半导体形成中使用的各种化学品具有充分的化学耐久性。要求特别是对ITO的蚀刻中使用的含有盐酸的药液、金属电极的蚀刻中使用的各种酸(硝酸、硫酸等)、抗蚀剂剥离液的碱等具有耐久性。(4)要求内部和表面没有缺陷(气泡、波筋、夹杂物、凹痕、划痕等)。除了上述的要求以外，近年来还有如下状况。(5)要求显示器的轻量化，期望玻璃本身也是密度小的玻璃。(6)要求显示器的轻量化，期望基板玻璃的减薄。(7)除了迄今为止的非晶硅(a-Si)型液晶显示器以外，还制作了热处理温度稍高的多晶硅(p-Si)型液晶显示器(a-Si：约350℃→p-Si：350～550℃)。(8)为了加快制作液晶显示器的热处理的升温和降温速度而提高生产率或者提高耐热冲击性，要求玻璃的平均热膨胀系数小的玻璃。另一方面，蚀刻的干燥化推进，对耐BHF性的要求减弱(BHF：缓冲氢氟酸、氢氟酸与氟化铵的混合液)。迄今为止的玻璃为了改善耐BHF性，大多使用含有6～10摩尔％的B2O3的玻璃。但是，B2O3存在降低应变点的倾向。作为不含B2O3或含量少的无碱玻璃的例子，有如下所述的玻璃。专利文献1中公开了含有0～3重量％的B2O3的玻璃，但实施例的应变点为690℃以下。专利文献2中公开了含有0～5摩尔％的B2O3的玻璃，但在50～300℃下的平均热膨胀系数超过50×10-7/℃。为了解决专利文献1～2中记载的玻璃中的问题点，提出了专利文献3中记载的无碱玻璃。专利文献3记载的无碱玻璃的应变点高，能够利用浮法进行成形，被认为适合于显示器用基板、光掩模用基板等用途。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开平4-325435号公报专利文献2：日本特开平5-232458号公报专利文献3：日本特开平10-45422号公报专利文献4：日本再公表专利2009-148141号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的问题但是，作为高品质的p-SiTFT的制造方法，有固相结晶法，但为了实施该方法，要求进一步提高应变点。另一方面，从玻璃制造工艺、特别是熔化、成形中的需要考虑，要求降低玻璃的粘性、特别是玻璃粘度达到104dPa·s时的温度T4。另外，出于防止成形为板状后的玻璃带的损伤的目的，已知如下技术：在缓冷炉内对成形后的玻璃带喷吹亚硫酸(SO2)气体，从而在玻璃带的下表面形成包含硫酸盐的防损伤用保护层(参见专利文献4)。但是，在无碱玻璃的情况下，难以在玻璃带上有效地形成防损伤用保护层，虽然进行了设备方面的研究，但有时存在设备构成上的制约等。本专利技术的目的在于提供解决上述缺点的、应变点高、且低粘性、特别是玻璃粘度达到104dPa·s时的温度T4低、而且能够在成形为板状后的玻璃带上有效地形成包含硫酸盐的防损伤用保护层的包含无碱玻璃的平板玻璃的制造方法。用于解决问题的手段本专利技术提供一种平板玻璃制造方法，其中，将玻璃原料熔化而制成熔融玻璃，并将该熔融玻璃利用成形装置成形为板状的玻璃带，然后将该玻璃带利用缓冷装置进行缓冷，上述平板玻璃制造方法中，上述平板玻璃包含下述无碱玻璃，在将上述无碱玻璃的应变点设为Tst(℃)时，在Tst+70℃～Tst-50℃的温度范围内，以使上述玻璃带的下表面的直接下方的SO2气氛浓度达到500～20000ppm的时间为30秒以上的方式供给SO2气体，上述无碱玻璃的应变点为680～735℃，50～350℃下的平均热膨胀系数为30×10-7～43×10-7/℃，玻璃粘度达到102dPa·s时的温度T2为1710℃以下，玻璃粘度达到104dPa·s时的温度T4为1310℃以下，以基于氧化物的摩尔％表示，所述无碱玻璃含有：MgO+CaO+SrO+BaO为15.5～21，MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)为0.35以上，CaO/(MgO+CaO+SrO+BaO)为0.50以下，SrO/(MgO+CaO+SrO+BaO)为0.50以下。另外，本专利技术提供一种平板玻璃制造方法，其中，将玻璃原料熔化而制成熔融玻璃，并将该熔融玻璃利用成形装置成形为板状的玻璃带，然后将该玻璃带利用缓冷装置进行缓冷，上述平板玻璃制造方法中，上述平板玻璃包含下述无碱玻璃，在将上述无碱玻璃的应变点设为Tst(℃)时，在Tst+70℃～Tst-50℃的温度范围内，以使上述玻璃带的下表面的直接下方的SO3气氛浓度达到500～20000ppm的时间为30秒以上的方式供给SO3气体，上述无碱玻璃的应变点为680～735℃，50～350℃下的平均热膨胀系数为30×10-7～43×10-7/℃，玻璃粘度达到102dPa·s时的温度T2为1710℃以下，玻璃粘度达到104dPa·s时的温度T4为1310℃以下，以基于氧化物的摩尔％表示，所述无碱玻璃含有：MgO+CaO+SrO+BaO为15.5～21，并且MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)为0.35以上，CaO/(MgO+CaO+SrO+BaO)为0.50以下，SrO/(MgO+CaO+SrO+BaO)为0.50以下。另外，本专利技术提供一种平板玻璃制造方法，其中，将玻璃原料熔化而制成熔融玻璃，并将该熔融玻璃利用成形装置成形为板状的玻璃带，然后将该玻璃带利用缓冷装置进行缓冷，上述平板玻璃制造方法中，上述平板玻璃包含下述无碱玻璃，在将上述无碱玻璃的应变点设为Tst(℃)时，在Tst+70℃～Tst-50℃的温度范围内，以使上述玻璃带的下表面的直接下方的SO2和SO3气氛浓度达到500～20000ppm的时间为30秒以上的方式供给SO2和SO3本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种平板玻璃制造方法，其中，将玻璃原料熔化而制成熔融玻璃，并将该熔融玻璃利用成形装置成形为板状的玻璃带，然后将该玻璃带利用缓冷装置进行缓冷，所述平板玻璃制造方法中，所述平板玻璃包含下述无碱玻璃，在将所述无碱玻璃的应变点设为Tst(℃)时，在Tst+70℃～Tst‑50℃的温度范围内，以使所述玻璃带的下表面的直接下方的SO2气氛浓度达到500～20000ppm的时间为30秒以上的方式供给SO2气体，所述无碱玻璃的应变点为680～735℃，50～350℃下的平均热膨胀系数为30×10‑7～43×10‑7/℃，玻璃粘度达到102dPa·s时的温度T2为1710℃以下，玻璃粘度达到104dPa·s时的温度T4为1310℃以下，以基于氧化物的摩尔％表示，所述无碱玻璃含有：MgO+CaO+SrO+BaO为15.5～21，MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)为0.35以上，CaO/(MgO+CaO+SrO+BaO)为0.50以下，SrO/(MgO+CaO+SrO+BaO)为0.50以下。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.11.13 JP 2013-2353151.一种平板玻璃制造方法，其中，将玻璃原料熔化而制成熔融玻
璃，并将该熔融玻璃利用成形装置成形为板状的玻璃带，然后将该玻
璃带利用缓冷装置进行缓冷，所述平板玻璃制造方法中，
所述平板玻璃包含下述无碱玻璃，
在将所述无碱玻璃的应变点设为Tst(℃)时，在Tst+70℃～Tst-50℃
的温度范围内，以使所述玻璃带的下表面的直接下方的SO2气氛浓度
达到500～20000ppm的时间为30秒以上的方式供给SO2气体，
所述无碱玻璃的应变点为680～735℃，50～350℃下的平均热膨
胀系数为30×10-7～43×10-7/℃，玻璃粘度达到102dPa·s时的温度T2为
1710℃以下，玻璃粘度达到104dPa·s时的温度T4为1310℃以下，以基
于氧化物的摩尔％表示，所述无碱玻璃含有：
MgO+CaO+SrO+BaO为15.5～21，
MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)为0.35以上，
CaO/(MgO+CaO+SrO+BaO)为0.50以下，
SrO/(MgO+CaO+SrO+BaO)为0.50以下。
2.一种平板玻璃制造方法，其中，将玻璃原料熔化而制成熔融玻
璃，并将该熔融玻璃利用成形装置成形为板状的玻璃带，然后将该玻
璃带利用缓冷装置进行缓冷，所述平板玻璃制造方法中，
所述平板玻璃包含下述无碱玻璃，
在将所述无碱玻璃的应变点设为Tst(℃)时，在Tst+70℃～Tst-50℃
的温度范围内，以使所述玻璃带的下表面的直接下方的SO3气氛浓度
达到500～20000ppm的时间为30秒以上的方式供给SO3，
所述无碱玻璃的应变点为680～735℃，50～350℃下的平均热膨
胀系数为30×10-7～43×10-7/℃，玻璃粘度达到102dPa·s时的温度T2为
1710℃以下，玻璃粘度达到104dPa·s时的温度T4为1310℃以下，以基
于氧化物的摩尔％表示，所述无碱玻璃含有：
MgO+CaO+SrO+BaO为15.5～21，
MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)为0.35以上，
CaO/(MgO+CaO+SrO+BaO)为0.50以下，
SrO/(MgO+CaO+SrO+BaO)为0.50以下。
3.一种平板玻璃制造方法，其中，将玻璃原料熔化而制成熔融玻
璃，并将该熔融玻璃利用成形装置成形为板状的玻璃带，然后将该玻
璃带...

【专利技术属性】
技术研发人员：德永博文，小野和孝，谷井史朗，
申请(专利权)人：旭硝子株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP