【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种炉管挡板的驱动系统，包括挡板及控制所述挡板运动的控制装置，其中所述挡板位于所述炉管底部用以密封所述炉管，其包括挡板本体及水平固定于所述挡板本体底部的保护盖，其特征在于，所述控制装置包括：挡板驱动单元，用以根据控制信号驱动所述挡板进行水平方向的运动；其中，所述挡板驱动单元包括连接件，所述保护盖通过转轴枢接于所述连接件；所述保护盖的底面具有与所述连接件相接触的接触部；所述接触部通过紧固件与所述连接件固定连接并使所述挡板处于水平位置；挡板位置感应单元，用以感测所述挡板的位置并产生感测信号；以及控制单元，与所述挡板位置感应单元及所述挡板驱动单元相连，用以根据所述感测信号决定是否发出所述控制信号。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王志良，裴雷洪，俞玮，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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