【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种电容式加速度传感器的传感部件的制作方法,其特征在于,所述传感部件的制作方法至少包括以下步骤:1)提供一(111)型硅材料衬底,在所述衬底上表面干法刻蚀多个凹槽,以在所述衬底顶部形成一质量块以及多个连接于所述质量块的支撑梁;2)在步骤1)获得的结构上表面自下而上依次形成抗氧化掩膜和光刻胶;3)利用掩膜版光刻各该支撑梁对应的光刻胶,通过掩膜版的掩膜窗口以使每一支撑梁对应两个预制备的腐蚀窗口,去除所述预制备的腐蚀窗口对应的光刻胶及位于其下的抗氧化掩膜直至暴露所述衬底;4)干法刻蚀步骤3)中被暴露的所述衬底的上表面直至一预设深度以形成所述腐蚀窗口;5)去除光刻胶,通过所述腐蚀窗口对所述衬底进行各向异性湿法腐蚀,以形成上下表面在平面内投影均为六边形的腐蚀槽,同一支撑梁对应的两相邻的腐蚀槽的侧壁间形成单晶硅薄壁;6)采用自限制氧化工艺对步骤5)获得的结构进行热氧化,使所述单晶硅薄壁及未覆盖抗氧化掩膜的衬底逐渐氧化形成氧化层,并于所述单晶硅薄壁顶部中央区域形成沿单晶硅薄壁长度方向延伸的单晶硅纳米线;而后去除所述抗氧化掩膜;7)对所述氧化层对应的衬底从下表面进行干法刻蚀直至暴露所述氧化层,以将连接 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:李铁,俞骁,王跃林,
申请(专利权)人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所,
类型:发明
国别省市:
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