【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种无线无源电容式加速度计，其特征在于：包括衬底（1），衬底（1）中设有封闭空腔（2），封闭空腔（2）内设有质量块（3），质量块（3）的四周分别固接有悬臂梁（4），悬臂梁（4）的另一端固定在封闭空腔（2）的腔壁上，质量块（3）位于封闭空腔（2）的中心位置；封闭空腔（2）内位于质量块（3）上方的位置设有第一电容（5）、位于质量块（3）下方的位置设有第二电容（6）；第一电容（5）的第一下极板（5?1）连接在质量块（3）的上表面、第一上极板（5?2）连接在封闭空腔（2）腔顶上正对质量块（3）的位置处，第二电容（6）的第二上极板（6?1）连接在质量块（3）的下表面、第二下极板（6?2）连接在封闭空腔（2）腔底上正对质量块（3）的位置处；衬底（1）的底面上设有平面螺旋电感（7）；衬底（1）和质量块（3）上都通过TSV工艺打孔溅射有电连线（8），电连线（8）将第一电容（5）、第二电容（6）和平面螺旋电感（7）串联成闭合回路。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：梁庭，洪应平，李赛男，熊继军，谭秋林，李晨，王伟，葛冰儿，
申请(专利权)人：中北大学，
类型：发明
国别省市：
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