【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种加速度传感器，尤其是指一种电容式加速度传感器。
技术介绍
加速度传感器是将加速度、震动、冲击等物理现象所产生的压力转变成便于测量的电信号的测试仪器。电容式加速度传感器是将被测量的加速度变化转换为电容变化量的一类传感器，因为具有测量精度高，输出稳定，温度漂移小等优点而得到广泛应用。通常，大多数的电容式加速度计只能检测一个或两个轴向的加速度，而在很多应用中需要检测加速度矢量。目前有采用在同一衬底上制作三轴电容式加速度传感器，如果芯片内部采用一个惯性质量，通常具有较高的偏轴灵敏度及沿不同轴向的灵敏度差别较大；如果芯片内部采用三个惯性质量，为了克服芯片内部结构在制作和实用中产生的粘附效应而采用的工艺也使得器件的制作较为复杂。另外，同一衬底上的三轴电容式加速度传感器，一旦传感器只要在某一轴向出现检测失效，整个传感器就无法使用。
技术实现思路
本技术解决了上述技术问题，提供一种三轴电容式加速度传感器。为了解决上述技术问题，本技术的技术方案为:一种三轴电容式加速度传感器，其特征在于:包括上盖、底座、传感芯片，所述的底座由三个面组成，底座的内部设有架子，所述的传感芯片有三个，分别安装在底座内的架子上，所述的三个传感芯片之间相互垂 直。进一步的，所述的一种三轴电容式加速度传感器还包括一串口插座，所述的串口插座固定在底座的侧面上，并与传感芯片连接。进一步的，所述的上盖由三个面组成，固定在底座上。采用本技术的方案的有益效果:1、把三块单轴电容式加速度传感器芯片安装在同一底座的三个互相垂直面上；可检测加速度矢量，有效抑制偏轴灵敏度，控制不同轴向灵敏度的一致性；单轴传感器芯...
【技术保护点】
一种三轴电容式加速度传感器，其特征在于：包括上盖、底座、传感芯片，所述的底座由三个面组成，底座的内部设有架子，所述的传感芯片有三个，分别安装在底座内的架子上，所述的三个传感芯片之间相互垂直。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：崔贺伟，陈强中，
申请(专利权)人：厦门乃尔电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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