物理量传感器以及电子设备制造技术

本发明专利技术提供物理量传感器以及电子设备，能够简化制造工序、并且可靠性高。本发明专利技术的物理量传感器（100）具有：基板（10）；摆动体（20），其设置在基板（10）的上方；支撑部（40、42），其支撑摆动体（20），沿着第1轴进行配置；以及检测电极（50、52），其设置于基板（10），与摆动体（20）相对配置，摆动体（20）具有与第2轴交叉的一对侧面，该第2轴在平面中与所述第1轴垂直，在所述一对侧面的至少一方，设置有突起部（30）。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及物理量传感器以及电子设备。
技术介绍
近年来，开发了例如使用娃MEMS (Micro Electro Mechanical System:微电子机械系统)技术检测物理量的惯性传感器等物理量传感器。例如，在专利文献I中，公开了利用旋转动作(杠杆摆动)检测Z轴方向的加速度的杠杆型的物理量传感器。专利文献I的物理量传感器具备导电性板、和具有质量不同的第I和第2区域的保证质量，该保证质量根据Z轴方向的加速度，绕分离第I和第2区域的挠性轴旋转。专利文献I的物理量传感器根据由于该保证质量的旋转产生的、导电性板与保证质量之间的静电电容的变化检测加速度。此外，专利文献I的物理量传感器具有用于限制保证质量的旋转的保护屏蔽板、和朝向该保护屏蔽板突出的止挡件。由此，防止导电性板与保证质量接触，从而提高可靠性。专利文献I日本特开2008-529001号公报但是，在专利文献I的物理量传感器中，必须通过在保证质量上堆积预定的材料，并进行图形化来形成止挡件，存在制造工序复杂化的问题。
技术实现思路
本专利技术的几个方式的目的之一在于提供能够简化制造工序、并且可靠性高的物理量传感器。本专利技术的几个方式的目的之一还在于提供包含上述物理量传感器的电子设备。本专利技术正是为了解决上述课题中的至少一部分而完成的，可作为以下方式或应用例来实现。[应用例I]本应用例的物理量传感器包含:基板；摆动体，其设置在所述基板的上方；支撑部，其支撑所述摆动体，沿着第I轴进行配置；以及检测电极，其设置于所述基板，与所述摆动体相对配置，所述摆动体具有与第2轴交叉的一对侧面，该第2轴在平面中与所述第I轴垂直，在所述一对侧面的至少一部分,设置有在所述平面内延伸的突起部。根据这种物理量传感器，能够在产生较大的加速度的情况下，防止摆动体与基板碰撞。因此，能够防止摆动体的损伤，能够提高可靠性。并且，将突起部设置于摆动体的侧面，因此例如能够通过对I个基板进行图形化来形成摆动体和突起部。因此，能够简化制造工序。[应用例2]在本应用例的物理量传感器中，可以包含电极，该电极设置于所述基板的所述检测电极的配置区域的外侧，并且与所述摆动体相对配置，所述电极与所述摆动体电连接。根据这种物理量传感器，能够将摆动体和电极设为相等电位，能够防止摆动体粘贴到基板。[应用例3]在本应用例的物理量传感器中，可以是所述突起部在平面视图中，不与所述检测电极和所述电极重叠。根据这种物理量传感器，能够在突起部与基板碰撞时，防止检测电极和电极损伤。[应用例4]在本应用例的物理量传感器中，可以是所述突起部的平面形状的末端为尖头状。根据这种物理量传感器，能够减小突起部与基板的接触面积，能够防止摆动体(突起部)粘贴到基板。[应用例5]在本应用例的物理 量传感器中，可以是所述突起部的平面形状的末端为圆弧状。根据这种物理量传感器，能够减小突起部与基板的接触面积，能够防止摆动体(突起部)粘贴到基板。[应用例6]在本应用例的物理量传感器中，可以是所述突起部与所述摆动体设置成一体。根据这种物理量传感器，能够简化制造工序。[应用例7]在本应用例的物理量传感器中，可以是所述摆动体的平面形状为矩形，并具有与所述第2轴交叉的第I侧面和第2侧面，在利用通过所述第I侧面的所述第I轴方向的宽度中心的所述第2轴将所述第I侧面划分为第I区域和第2区域时，在所述第I区域和所述第2区域中分别设置有所述突起部。根据这种物理量传感器，能够更可靠地防止摆动体与基板碰撞。[应用例8]在本应用例的物理量传感器中，可以在所述摆动体的周围配置有框体，所述摆动体通过所述支撑部与所述框体隔开而连接，所述摆动体和所述突起部的外侧缘与所述框体的内侧缘之间的空隙宽度均匀。根据这种物理量传感器，能够实现装置的小型化。此外，在将传感器基板接合到基板，并蚀刻传感器基板来形成摆动体的工序中，如果将摆动体和突起部的外侧缘与框体的内侧缘之间的空隙宽度设计成均匀，则能够用I次蚀刻工序形成摆动体和突起部，能够改善制造效率。[应用例9]在本应用例的物理量传感器中，可以是所述摆动体在以所述第I轴为界时在一方区域和另一方区域中质量不同。[应用例10]在本应用例的物理量传感器中，可以是所述检测电极包含配置于与所述摆动体的所述一方区域相对的位置的第I检测电极、和配置于与所述摆动体的所述另一方区域相对的位置的第2检测电极。[应用例11]本应用例的电子设备包含本应用例的物理量传感器。根据这种电子设备，由于包含本应用例的物理量传感器，因此能够简化制造工序，并且具备高可靠性。附图说明图1是示意性示出本实施方式的物理量传感器的俯视图。图2是示意性示 出本实施方式的物理量传感器的剖视图。图3是示意性示出本实施方式的物理量传感器的剖视图。图4是用于说明摆动体的动作和可变电容的电容值的变化的图。图5是示意性示出本实施方式的物理量传感器的制造工序的剖视图。图6是示意性示出本实施方式的物理量传感器的制造工序的剖视图。图7是示意性示出本实施方式的物理量传感器的制造工序的剖视图。图8是示意性示出本实施方式的物理量传感器的制造工序的剖视图。图9是示意性示出本实施方式的第I变形例的物理量传感器的俯视图。图10是示意性示出本实施方式的第2变形例的物理量传感器的俯视图。图11是示意性示出本实施方式的电子设备的立体图。图12是示意性示出本实施方式的电子设备的立体图。图13是示意性示出本实施方式的电子设备的立体图。标号说明C1、C2:可变电容；M:掩模；Q:支撑轴;2、4:空隙；10:支撑基板；12:凹部；14:面；20:摆动体；21a:可动电极；21b:可动电极；24 第I侧面；24a 第I区域；24b 第2区域；25:第2侧面；25a:第3区域；25b:第4区域；26:贯通孔；28:上表面；29:下表面；30:突起部；40 第I支撑部；42:第2支撑部；50:第I检测电极；52:第2检测电极；54:相对电极；60:框体；62:凹部；70:盖体；100:物理量传感器；101:玻璃基板；200:物理量传感器；201:硅基板；300:物理量传感器；1100:个人计算机；1102:键盘；1104:主体部；1106:显示单元；1108:显示部；1200:便携电话机；1202:操作按钮；1204:接听口 ；1206:发送口 ；1208:显示部；1300:数字静态照相机；1302:外壳；1304:受光单元；1306:快门按钮；1308:存储器；1310:显示部；1312:视频信号输出端子；1314:输入输出端子；1430:电视监视器；1440:个人计算机。具体实施例方式下面，参照附图对本专利技术的优选实施方式进行详细说明。另外，以下说明的实施方式并不对权利要求书中记载的本专利技术的内容进行不恰当的限定。并且以下说明的所有结构不是本专利技术必需的结构要件。1.物理量传感器首先，参照附图说明本实施方式的物理量传感器。图1是示意性示出本实施方式的物理量传感器100的俯视图。图2和图3是示意性示出本实施方式的物理量传感器100的剖视图。另外，图2是图1的II 一 II线的剖视图，图3是图1的II1-1II线的剖视图。此外，在图1中，为了方便省略了盖体70的图示。在图1 图3中，作为彼此垂直的3个轴，图示了 X轴、Y轴、Z轴。物本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种物理量传感器，其包含：基板；摆动体，其设置在所述基板上方；支撑部，其支撑所述摆动体，沿着第1轴进行配置；以及检测电极，其设置于所述基板，与所述摆动体相对配置，所述摆动体具有与第2轴交叉的侧面，该第2轴在平面中与所述第1轴垂直，在所述侧面的至少一部分，设置有在所述平面内延伸的突起部。

【技术特征摘要】
2012.01.30 JP 2012-0162401.一种物理量传感器，其包含: 基板； 摆动体，其设置在所述基板上方； 支撑部，其支撑所述摆动体，沿着第I轴进行配置；以及 检测电极，其设置于所述基板，与所述摆动体相对配置， 所述摆动体具有与第2轴交叉的侧面，该第2轴在平面中与所述第I轴垂直， 在所述侧面的至少一部分，设置有在所述平面内延伸的突起部。2.根据权利要求1所述的物理量传感器，其中， 该物理量传感器 包含电极，该电极设置于所述基板的所述检测电极的配置区域的外侦牝并且与所述摆动体相对配置， 所述电极与所述摆动体电连接。3.根据权利要求2所述的物理量传感器，其中， 所述突起部在平面视图中，不与所述检测电极和所述电极重叠。4.根据权利要求1所述的物理量传感器，其中， 所述突起部的平面形状的末端为尖头状。5.根据权利要求1所述的物理量传感器，其中， 所述突起部的平面形状的末端为圆弧状。6.根据权利要求1所述的物理...

【专利技术属性】
技术研发人员：与田光宏，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：