用于机械零部件表面耐磨损、耐腐蚀的复合涂层及制备方法技术

技术编号：9138851 阅读：168 留言：0更新日期：2013-09-12 01:36

本发明专利技术公开了一种用于机械零部件表面耐磨损、耐腐蚀的复合涂层及制备方法，其复合涂层包括过渡层和功能层，过渡层由铬、钛或镍纯金属制备且位于功能层和工件表面之间。复合涂层的制备方法，包括以下工艺步骤：①工件经清洗并烘干后，置于非平衡磁控溅射镀膜设备的真空室中；②真空压力设为3×10-3Pa；温度设为200℃～500℃并保温30分钟；保温同时对工件进行等离子体清洗；③通入氩气利用非平衡磁控溅射方法制备过渡层；④使用氩气作为工作气体，通入氮气反应气体制备功能层；⑤工件随炉冷却到100℃以内，取出即可。本发明专利技术采用复合材料表面设计方法，采用两层结构（过渡层、功能层）来用于提高机械零部件表面性能。