线切割机及线切割机用槽道装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种线切割机及线切割机用槽道装置，其能够防止加工液向周围飞溅，并且将加工液充分地向切割部分供给，从而提高切割性能。线切割机(20)具备：加工液供给装置(29)，其供给加工液S；汽缸(37)，其使工件W相对于行走中的切割线(26)相对移动；槽道部件(40)，其与加工液供给装置(29)连接，与工件W接近配置，具有切割线(26)通过的第二加工液供给空间S2，并且从切割线(26)的行走方向的上游侧向工件W被切割的部分供给加工液S，在第二加工液供给空间S2中的工件W附近产生静压。

【技术实现步骤摘要】
线切割机及线切割机用槽道装置
本专利技术涉及用于切割半导体材料等的线切割机及线切割机用槽道装置。
技术介绍
近年来，正在使用将由例如半导体材料、磁性材料、陶瓷等硬脆材料构成的工件通过行走的切割线切割的线切割机。例如，专利文献1公开了一种脆性材料的切割装置，该切割装置配置为：在通过将向行走中的切割线供给油剂中混合有游离磨粒的加工液，并使附着有加工液的切割线按压在工件上，来将半导体材料等被切割部件切割成希望的形状的线切割机中，为了提高线切割机的切割精度及切割效率，将在加工液供给喷嘴的正下方的立式加工液储存部和具有使加工液在水平方向流出的狭缝状流出孔的水平整流部连通的倒T字形的狭缝喷嘴配置在切割线要刚刚进入被切割部件之前。专利文献1：日本特开平5-212720号公报(平成5年8月24日公开)但是，在上述现有切割装置中，存在下列问题。上述公报公开的切割装置，仅仅只是意识到通过将倒T字形的狭缝喷嘴配置在切割线要刚刚进入被切割部件之前，使加工液直到切割线要进入被切割部件之前都能可靠地附着在切割线上，从而通过切割线将加工液引入切割部而构成的。因此，没有考虑附着在切割线上的加工液因与被切割部件的相对本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种线切割机，一边向行走的切割线供给加工液，一边将工件按压在所述切割线上进行切割，其中，具备：加工液供给部，其从所述切割线的行走方向的上游侧对行走中的所述切割线供给所述加工液；移动机构，其使所述工件相对于行走中的所述切割线相对移动，所述加工液供给部具有：加工液加压输送装置，其加压输送所述加工液；槽道部件，其以所述切割线通过其内部，并且其前端部接近所述工件而进行配置，将从连接的所述加工液加压输送装置加压输送的所述加工液向所述切割线和所述工件的相对面的接触部供给。

【技术特征摘要】
2012.02.29 JP 2012-0439531.一种线切割机，一边向行走的切割线供给加工液，一边将工件按压在所述切割线上进行切割，其中，具备：加工液供给部，其从所述切割线的行走方向的上游侧对行走中的所述切割线供给所述加工液；移动机构，其使所述工件相对于行走中的所述切割线相对移动，所述加工液供给部具有：加工液加压输送装置，其加压输送所述加工液；槽道部件，其以所述切割线通过其内部，并且其前端部接近所述工件而进行配置，在将从连接的所述加工液加压输送装置加压输送的所述加工液向所述切割线和所述工件的相对面的接触部供给时，向切割开始点的周围供给施加了压力的所述加工液。2.如权利要求1所述的线切割机，其中，还具备从所述槽道部件的前端部凸出的法兰部。3.如权利要求2所述的线切割机，其中，所述法兰部相对于所述工件的相对面平行配置。4.如权利要求2所述的线切割机，其中，所述法兰部由与所述槽道部件相同的材料形成。5.如权利要求1所述的线切割机，其中，在所述槽道部件的前端部设有由弹性部件或波纹管组成的密封部件。6.如权利要求5所述的线切割机，其中，所述密封部件接触所述工件。7.如权利要求1～6中任一项所述的线切割机，其中，所述槽道部件的前端部和所述工件的相对面之间的空隙的大小可变。8.如权利要求1～6中任一项所述的线切割机，其中，所述槽道部件的前端部和所述工件的相对面之间的空隙为9mm以下。9.如权利要求1～6中任一项所述的线切割机，其中，所述槽道部件的前端部和所述工件的相对面之间的空隙为7mm以下。10.如权利要求1～6中任一项所述的线切割机，其中，所述加工...

【专利技术属性】
技术研发人员：储仁才，森本茂夫，箕西干夫，谷崎启，河津知之，藪洋佑，
申请(专利权)人：小松NTC株式会社，
类型：发明
国别省市：