【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种生长在Si衬底上的AlN薄膜,其特征在于:包括Si衬底层、生长在Si衬底层上的AlN薄膜层,所述Si衬底层的厚度为80-100μm,所述AlN薄膜层的厚度为3-5nm。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:李国强,
申请(专利权)人:广州市众拓光电科技有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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