【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种真空发生系统,其特征在于,包括真空发生器、与所述真空发生器连通的总路真空管、与所述总路真空管连通的多条分支真空管路系统;其中,每条所述分支真空管路系统包括与所述总路真空管连通的分支管、设在所述分支管上的气控阀、与所述分支管连通的过滤器、与所述过滤器连通的工作台真空管以及与所述气控阀连接的用于控制所述气控阀的控制气路管;所述真空发生器、所述总路真空管、所述分支管、所述过滤器及所述工作台真空管构成抽真空系统;所述控制气路管、所述分支管、所述过滤器及所述工作台真空管构成充气系统;当向所述控制气路管充气时,所述气控阀控制所述充气系统打开且控制所述抽真空系统关闭,当所述控制气路管关闭且所述真空发生器抽真空时,所述气控阀控制所述抽真空系统打开。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:杨宏振,高云峰,
申请(专利权)人:深圳市大族激光科技股份有限公司,深圳市大族数控科技有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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