【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种真空装置，具体指一种红外探测器用多工位真空排气装置。
技术介绍
航天应用红外探测器的可靠性要求高，在探测器的生产研制过程中，需要对产品进行测试、试验等一些了的操作，在这些过程中，均需要给红外探测器提供真空环境，一般的，红外探测器置于杜瓦中来获得真空环境，而杜瓦真空的获得则是由排气装置来实现。在目前应用于红外探测器排气的装置中，主要是采用单个或几个工位的排气台手动进行排气，排气效率低，各工位间的排气进程相互影响，设备自适应能力差。本专利技术提供了一种新型的用于红外探测器的多工位排气装置，解决了目前存在的问题，可以多达20个工位同时排气，各工位间互不干涉，且可以实现自动化智能排气。
技术实现思路
基于上述研究红外探测器寿命试验的困难，本专利公开了一种红外探测器用多工位真空排气装置，其包括主腔体、主腔体密封阀、杜瓦密封阀、分子泵、插板阀、旁抽阀、机械泵、前级阀，其特征在于红外探测器用真空排气装置结构简单、易于拆装、工位数目多、真空度能达到一个较高的水平、主腔体与工位的压强差小、装置选用的所有阀门和泵组均可进行自动化控制。其中:所述的主腔体是一个圆饼状的腔...
【技术保护点】
一种红外探测器用多工位真空排气装置，其包括主腔体（1）、主腔体密封阀（2）、分子泵（3）、插板阀（4）、旁抽阀（5）、机械泵（6）和前级阀（7），其特征在于：所述的主腔体（1）是一个圆饼状的腔体，其圆周上均匀分布多个个法兰外接接头，同时主腔体下底面有多个法兰外接接头；所述的主腔体密封阀（2）、插板阀（4）、旁抽阀（5）及前级阀（7）为超高真空气动阀；所述的装置的密封形式均为金属密封，其中，仅VCR拆卸处采用镍圈密封，其余的接口处均采用无氧铜圈密封；主腔体（1）作为整个真空排气装置的公共真空室，其圆周上均匀分布多个外接接头将公共室分为多个分支，其中1个分支为测量工位，其余分支...
【技术特征摘要】
1.一种红外探测器用多工位真空排气装置，其包括主腔体(I)、主腔体密封阀(2)、分子泵(3)、插板阀(4)、旁抽阀(5)、机械泵(6)和前级阀(7)，其特征在于: 所述的主腔体(I)是一个圆饼状的腔体，其圆周上均匀分布多个个法兰外接接头，同时主腔体下底面有多个法兰外接接头； 所述的主腔体密封阀(2)、插板阀(4)、旁抽阀(5)及前级阀(7)为超高真空气动阀；所述的装置的密封形式均为金属密封，其中，仅VCR拆卸处采用镍圈密封，其余的接口处均采用无氧铜圈密封...
【专利技术属性】
技术研发人员：曹岚，张海燕，朱宪亮，庄馥隆，季鹏，陆华杰，龚海梅，
申请(专利权)人：中国科学院上海技术物理研究所，
类型：发明
国别省市：
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