一种氧化铝钛薄膜及其制备方法和应用技术

本发明专利技术属于晶体管制备技术领域，具体为一种氧化铝钛薄膜及其制备方法和应用。本发明专利技术采用溶胶凝胶法制备氧化铝钛薄膜。本发明专利技术以乙二醇单甲醚为溶剂，浓盐酸为添加剂，将Al(C4H9O)3、Ti(C4H9O)4溶解其中，形成澄清稳定的前驱体溶液；将前驱体溶液旋转涂覆于玻璃基板上，经预热处理及后续高温热处理得到氧化铝钛薄膜。本还涉及采用氧化铝钛作为栅介质层的薄膜晶体管的制备方法。以此作为栅介质层材料的IZO薄膜晶体管，开关电流比大于1×106，饱和迁移率大于1.1cm2/Vs，亚阈值摆幅小于1.5V/dec。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种氧化铝钛薄膜的制备方法，其特征在于具体步骤如下：（1）制备铝钛前驱体溶液以乙二醇单甲醚为溶剂，将仲丁醇铝Al(C4H9O)3溶解其中，经0.2?—?1.0小时搅拌形成澄清溶液后，再将钛酸四丁酯Ti(C4H9O)4溶解其中，经0.2?—?1.0小时搅拌至澄清溶液；然后向其中加入浓度为38%的浓盐酸，并进行振荡，待形成澄清稳定的前驱体溶液后静置45?60小时形成凝胶；其中乙二醇单甲醚与浓盐酸的体积比为10:1?—?10:3，溶液中Al离子、Ti离子的摩尔比为0.9:0.1?—?0.1:0.9，Al离子摩尔浓度为0.1?—?1.5?M；（2）制备氧化铝钛薄膜将步骤（1）制备的铝钛前驱体溶液旋转涂覆于玻璃基板上，预热处理；再涂覆前驱体溶液，经反复多次，然后在大气中进行高温热处理，得到目标厚度的氧化铝钛薄膜。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：浦海峰，张群，
申请(专利权)人：复旦大学，
类型：发明
国别省市：