【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种MSM光电探测器的制备方法,其特征是含以下步骤:(1)采用离子注入法在预处理后的晶体硅片中注入硫、硒或碲,使晶体硅片中硫、硒或碲元素的浓度为5×1015~1016个原子数/cm3,然后对晶体硅片进行退火和清洗处理;(2)将退火处理后的晶体硅片采用激光再次掺杂硫、硒或碲,使晶体硅片中硫、硒或碲元素的浓度为1019~1021个原子数/cm3,经退火处理在晶体硅表面形成重掺杂硫、硒或碲硅薄膜层;(3)在重掺杂硫、硒或碲硅薄膜层表面接着沉积一层铝金属薄膜,该铝金属薄膜的厚度为50~100nm;(4)在铝金属薄膜上旋涂一层光刻胶,并通过曝光和显影液处理形成叉指电极图形,将晶体硅片浸入碱液中,腐蚀掉未被光刻胶叉指电极图形保护的金属铝薄膜,并在重掺杂硫、硒或碲硅薄膜层表面非叉指电极图形区域生成一层二氧化硅薄膜,形成MSM光电探测器。
【技术特征摘要】
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