感光性元件、抗蚀图案的形成方法以及印刷布线板的制造方法技术

本发明专利技术涉及一种感光性元件，其具备支撑膜和形成在该支撑膜上的由感光性树脂组合物得到的感光层，其中，支撑膜的雾度为0.01～1.5%，且该支撑膜中所含有的直径为5μm以上的粒子和直径为5μm以上的凝聚物的总数为5个/mm2以下，感光层含有粘合剂聚合物、具有烯属不饱和键的光聚合性化合物以及光聚合引发剂，感光层的厚度T和感光层的365nm下的吸光度A满足下述式（I）所示的关系。0.001≤A/T≤0.020（I）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：久保田雅夫，
申请(专利权)人：日立化成株式会社，
类型：
国别省市：