【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种对半导体设备精密定位运动平台(10)进行定向的装置，其特征在于，所述平台上存在定义了该平台的平面的第一、第二和第三参考处(A、B、C)，该装置包括：?第一、第二和第三驱动单元(200、202，220、222，240，242)，用于驱动相应参考处并驱动所述运动平台移动；?第一、第二和第三位置传感器(30、32、34)，分别用于传感与该第一、第二和第三参考处的位置相关的信号值；?处理器(400、402、404)，与各位置传感器相连，用于获得使所述平台平面与该预定定向一致的、各信号值之间的相互关系；?调节器(50)，与各驱动单元相连，用于在第一驱动单元驱动第一参考处到预定位置后，根据所述相互关系，控制该第二和第三驱动单元驱动相应参考处，以将所述平台定向为该预定定向。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：邱青菊，李宾，王英，
申请(专利权)人：睿励科学仪器上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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