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现有的半导体设备精密定位运动平台的定向技术仅参照运动体中心的定位进行定向，不能满足较高的水平度要求。本发明提出了一种定向半导体设备精密定位运动平台的装置及方法，平台(10)上存在定义了该平台的平面的第一、第二和第三参考处(A、B、C)，该装...
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