【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及。
技术介绍
钟罩零件(英文为Bell jar，以下均称为钟罩零件)的外形为一碗型造型，具有碗型内腔，该碗型内腔的内壁为粗糙设计，其功能是捉取、附着半导体制程中所产生的不纯物质，避免不纯物质影响生产设备稳定度，由此，钟罩零件会在半导体制程中产生消耗。钟罩零件在使用后需进行洗净后方可再次使用，在洗净的同时，还会针对内壁粗糙度进行控制，目前采用喷砂方法进行内壁的粗糙度再生。由喷砂是利用气压带动砂材，以撞击切削的方式产生粗糙度，而钟罩零件由石英制成，以喷砂进行粗糙度再生的过程中，同样会对钟罩零件产生消耗。同时，喷砂砂材的行径是直线性的，需以手持喷砂头来回对钟罩零件进行喷砂，手持喷砂头的行径路线无法如机械般精准，就必然会产生部分区域喷砂较多，部分区域喷砂较少的疏密不均的状况产生，整体粗糙度的均一性自然较不易控制。由于钟罩零件在会因为半导体制程与粗糙度再生产生消耗，所以使用到一定的次数后，其厚度会逐渐变小，将会逐渐影响生产设备的稳定度，使晶圆在制造过程中造成不良，影响产品质量。当钟罩零件消耗达到报废的程度，必须进行更换。众所皆知的，半导体生产设备相关的零部件皆为国外进口，国内本身并无制造能力，相对的，相关零部件的采购成本自然就高，又因为是国外进口所以采购时程又长，当需要大量采购时，庞大的金钱与时间的成本，都是沉重的负担。 因此，如何在粗糙度再生过程中不对钟罩零件产生消耗一直是本领域技术人员致力于解决的问题之一。
技术实现思路
本专利技术的目的，就是针对上述问题而提供，该粗糙度再生方法不会对钟罩零件产生消耗，大大延长了产品的使用寿命。本专利技术为达目的所采...
【技术保护点】
一种用于半导体制程中钟罩零件的粗糙度再生方法，该钟罩零件为碗型结构且具有碗型内腔，其特征在于，包括以下步骤：将酸性溶液放入所述钟罩零件的碗型内腔中对其内壁进行浸泡，且该酸性溶液的液面高度为至所述钟罩零件的碗口处，浸泡时间为6小时。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：吕永铭，
申请(专利权)人：上海科秉电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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