无尘输送系统技术方案

本发明专利技术的输送系统设置于地板面上来输送对象物。上述输送系统具备：外壳，构成为具有可操作地封闭的第一开口、和可操作地封闭的第二开口，设置于上述地板面上，若封闭上述第一开口和上述第二开口，则在内部包围密闭空间；输送装置，构成为设置于上述外壳内，并从上述第一开口朝向上述第二开口输送上述对象物；以及送风装置，设置于上述外壳内，净化上述密闭空间内的空气，并供给被净化了的空气。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及适合于显示器装置的制造等的必须清洁环境的工序的输送系统。
技术介绍
液晶显示器(IXD)、等离子显示器(PDP)、电致发光显示器(ELD)等的显示器装置的制造，需要避免微小的灰尘或附着水分，需要清洁环境。不仅在各工序中，即使在连接各工序之间的输送装置中，也希望实现清洁环境。通常，为了实现这种清洁环境，利用无尘室。无尘室典型的是具备:顶棚，具有内部能够流通空气的室；具有相同室的地板；连通两个室并使空气回流、关闭的管道。而且，无尘室具备利用了从空气除去微细的尘埃及其他污染物质的特殊过滤器的送风装置，典型的是该送风装置设置于顶棚上。被净化了的空气通过送风装置从顶棚流下，因而，在内部实现清洁环境。为了维持较高的清洁度，为了防止过滤器的劣化，清洁空气不向外部流出而是被地板的室收集，通过上述管道回流到顶棚的室，反复通过送风装置的过滤器。无尘室由于具有这种特殊结构，所以不能容易地构筑。另外，由于顶棚以及地板的室，需要不能设置装置的很大的静区。为了在无尘室收纳制造显示器装置那样的长大的工程装置以及其间的所有的输送装置，也考虑静区，无尘室不得不变成极大规模。提出了用于在输送装置上分别实现清洁环境的技术方案。相关技术在日本特开2006— 24841 号公开。根据上述相关技术，虽然通过`了过滤器的空气提高装置周围的清洁度，但由于空气向外部流出而不回流，所以取得的清洁度有限，也不能忽视过滤器的劣化。若附加使空气回流并关闭的装置，则装置整体变得复杂，另外其规模有可能变得过大。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述课题而提出的技术方案，其目的是提供一种通过直接设置在地板面上而能够简单地构筑，并能够回流清洁空气的无尘输送系统。根据本专利技术的一个方案，输送系统设置于地板面上来输送对象物。上述输送系统具备:外壳，构成为具有可操作地封闭的第一开口、和可操作地封闭的第二开口，设置于上述地板面上，若封闭上述第一开口和上述第二开口，则在内部包围密闭空间；输送装置，构成为设置于上述外壳内，且从上述第一开口朝向上述第二开口输送上述对象物；以及送风装置，设置于上述外壳内，净化上述密闭空间内的空气，并供给被净化了的空气。优选上述送风装置从上述输送装置的下侧朝向上侧输送上述被净化了的空气。优选还具备构成为使流体向上方喷出而使上述对象物悬浮的悬浮装置。更优选上述送风装置从上述悬浮装置的下侧朝向上侧输送上述被净化了的空气。进一步优选上述悬浮装置将从上述送风装置供给的上述被净化了的空气作为上述流体而喷出。附图说明图1是本专利技术一实施方式的无尘输送系统的横剖视图。图2是上述无尘输送系统的俯视剖视图。图3是上述无尘输送系统的纵剖视图，在图中I一I线是表示采取了图1的剖面线，II一 II线表不米取了图2的首I]面图。图4是基于变形例的无尘输送系统的剖视图。具体实施例方式以下，参照附图说明本专利技术的实施方式。通过本说明书、权利要求书及附图，前方、后方、左方及右方在图中分别定义为以FF、FR、L及R标记的方向。这种定义是为了便于说明，本专利技术并不限定于此。以下，作为输送的对象，虽然以显示器装置的原材料即玻璃基板为例进行说明，但本专利技术的实施不限于此。另外，密闭空间的内部也可以不是空气，而是充满其他气体例如氮气。根据本专利技术实施方式的无尘输送系统，如图1至图3所示，设置于地板面上来利用。为了防止发生尘埃，地板面优选例如在沙浆上涂敷了由聚氨基甲酸乙酯树脂等构成的涂料，但不限于此。无尘输送系统I具备包围其内部的壳体3。壳体3具有前面板5、后面板7、左面板9、右面板11，从前后左右遮蔽其内部。各面板5、7、9、11相互气密地连接，而且，在各面板5、7、9、11的上端气密地覆盖有顶棚面板13。另外，各面板5、7、9、11的下端构成为相对地板面气密地连接。或者，外壳3的地板面侧也可以不开放，通过底板封闭。各面板相互的连接不需要永久，也可 以能够拆卸。特别地，顶棚面板13优选能够拆卸。后面板7、前面板5分别具有用于搬入和搬出玻璃基板W的开口 15、21。外壳3还具备用于分别封闭开口 15、21的后闸门17和前闸门23，分别通过气缸19、25沿上下方向的驱动能够开闭操作。另外，闸门17、23取代上下方向的可动性，也可以具有左右方向的可动性。闸门17、23构成为在位于关闭位置时，气密地封闭开口 15、21。S卩，外壳3在设置于地板面上并通过闸门17、23封闭各开口 15、21时，在其内部包围密闭空间。再者，如上所述在具有底板的情况下，也可以仅通过面板包围密闭空间，地板面不加入包围密闭空间的构成要件。在上述外壳3内设置有从用于搬入的开口 15向用于搬出的开口 21延伸的支撑架27。在支撑架27上设有沿着支撑架成列，且包含多个悬浮装置47的输送装置29。多个悬浮装置47沿前后方向及左右方向这两方构成列。输送装置29在支撑架27上的左端及右端附近，具有沿玻璃基板W的输送方向分别构成列的多个辊31。各辊31分别通过旋转轴与蜗轮35 —体地连接，通过托架33旋转自如地支撑。以沿前后方向贯穿支撑架27的方式具备一对驱动轴37，各驱动轴37具备可驱动地与各蜗轮35啮合的蜗杆39。在各驱动轴37的前端，通过联轴器等可驱动地连接有马达41的输出轴。由此，各辊31受到马达41的驱动力，以相同的旋转速度进行旋转。如图1所示，上述各辊31的上端部配置成比上述悬浮装置47的上表面稍微向上方突出而在单一的面上对齐。玻璃基板W即使在通过悬浮装置47悬浮的状态下，如图1所示，也能够与辊31接触，以便受到驱动力。马达41不需要一对，两驱动轴37也可以通过链子等适当的结合机构连接于单一的马达。另外，也可以取代辊，将可驱动的夹持器或带输送机等输送机构应用于输送装置29。在支撑架27上，在左右端附近的辊31之间设置具有多个贯通孔45的板43。各悬浮装置47分别以对应贯通孔45的方式设置于板43上，各贯通孔45分别与悬浮装置47的内部连通。悬浮装置47分别具备在上表面贯通的喷出孔49。即，从贯通孔45流入的空气经由悬浮装置47的内部能够从喷出孔49喷出。喷出孔49在从如图2的上方看时，优选为看起来为矩形环状的形状，但不限于此。也可以适用于椭圆形的环状、封闭环的一部分的形状等、其他各种形状。为了使喷出孔的宽度均匀，也可以在喷出孔内安装部件或突起。另外，喷出孔49在悬浮装置47的至少上表面附近，也可以具有向内侧例如45度的倾斜。在板43的下方具备向上方供给清洁空气的多个送风装置51。各个送风装置51具备从空气除去微细的尘埃和其他污染物的过滤器、和输送被净化了的空气的鼓风机。多个送风装置51，相互隔开间隔或邻接地沿悬浮装置47 (因而沿输送装置29)排列，通过托架53固定在支撑架27上。通过这种结构，送风装置51吸入外壳3所包围的密闭空间的内部的空气，通过过滤器进行净化后向上方、即向输送装置29及悬浮装置47供给。悬浮装置47通过贯通孔45输入被净化了的空气，从喷出孔49向上方喷出。送风装置也可以如图4所示那样变形。即、过滤器55通过托架57固定在支撑架27上。鼓风机59固定在过滤器55的下方,吸入密闭空间的内部的空气，向过滤器55输送。悬浮装置47为了增大给予玻璃基板W的浮力，也可以在送风装置51与悬浮装置47之间设置增加的送本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种输送系统，用于设置在地板面上来输送对象物，其特征在于，具备：外壳，所述外壳具备：具有可操作地封闭的第一开口和可操作地封闭的第二开口的面板，所述外壳设置于上述地板面上，若封闭上述第一开口和上述第二开口，则通过上述面板和上述地板面在上述外壳的内部包围密闭空间；输送装置，该输送装置具有：设置于上述外壳内、且从上述第一开口朝向上述第二开口输送上述对象物的辊以及悬浮装置，该悬浮装置使流体向上方喷出而使上述对象物悬浮，送风装置，设置于上述外壳内，净化上述密闭空间内的空气，并供给被净化了的空气，在上述密闭空间内回流上述被净化的空气。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：平田贤辅，和田芳幸，田中刈入，村山晋，
申请(专利权)人：株式会社IHI，
类型：发明
国别省市：