马达的检测装置及检测马达性能的方法制造方法及图纸

现有的半导体工艺中，由于马达设置在密封腔内，因而针对某些马达被锁定误判为性能失效的情况，通常需打开密封腔以进行检测，上述打开密封腔需中断制程，耗时且麻烦。针对上述问题，本发明专利技术提出一种马达的检测装置及检测马达性能的方法，在现有的马达驱动电路基础上，再设置一套与马达相连的检测电路，以备马达在某一位置临时被锁定而非马达自身性能失效后，不打开密封腔，采用额外设置的检测电路对马达进行驱动。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种。
技术介绍
半导体行业中，多个工艺需要在密封环境内完成，其工艺涉及晶元在密封腔内的转载，上述转载一般是通过驱动马达实现的。然而，马达驱动过程中，在行程的最高点和最低点出于保护马达的目的，在两行程端头具有锁定功能，该锁定功能呈现为马达故障，有可能被误判为马达性能失效。此种情况下，现有技术一般需打开密封腔对该马达的状况进行检测，若马达被锁定，则解除该锁定；若马达性能失效，则进行维修或更换性能合格的马达。上述方式由于需打开密封腔，因而过程麻烦且耗时。有鉴于此，实有必要提供一种新的，以降低马达故障被误判为性能失效的几率，同时提高效率。
技术实现思路
本专利技术实现的目的是提出一种新的，以降低马达故障被误判为性能失效的几率。为实现上述目的，本专利技术提供一种马达的检测装置，包括:密封腔；设置在所述密封腔内的基片承载台；用于驱动所述基片承载台的马达；与所述马达相连的检测电路，用于在所述马达故障时判断所述马达的性能是否失效。可选地，所述马达为直线马达。可选地，所述检测电路包括信号施加装置。可选地，所述信号施加装置设置在所述密封腔的外部。可选地，所述信号施加本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种马达的检测装置，包括：密封腔；设置在所述密封腔内的基片承载台；用于驱动所述基片承载台的马达；其特征在于，还包括与所述马达相连的检测电路，用于在所述马达故障时判断所述马达的性能是否失效。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：戴正雨，曹圣豪，王磊，
申请(专利权)人：上海宏力半导体制造有限公司，
类型：发明
国别省市：