一种微混合检测芯片制造技术

技术编号:9002741 阅读:133 留言:0更新日期:2013-08-07 18:24
一种微混合检测芯片,包括:m个入口、1个出口、混合沟道(5)、检测沟道(6)、2个光纤沟道(8、9)、基片(2)和盖片(1)。所述的混合沟道(5)与检测沟道(6)相连,2个光纤沟道(8、9)位于检测沟道(6)的两侧。混合沟道(5)、检测沟道(6)和光纤沟道(8、9)均刻于基片(2)上。盖片(1)与基片(2)键合,盖片(1)上设有m个输入孔、1个输出孔,分别与基片上的m个入口、1个出口相通。两个光纤沟道分别为插入入射光纤的入射光纤沟道和插入接收光纤的接收光纤沟道,入射光纤沟道、接收光纤沟道与检测沟道三者的中心线位于同一直线上,互不相通。本发明专利技术可应用于在线微量检测系统,连续监测所需指标动态变化。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种微流控芯片,特别涉及一种集液体混合、检测于一体的微混合芯片。
技术介绍
随着微流控芯片技术的发展,各种微混合芯片广泛应用于分析化学、生物学、医学诊断、环境监测等各个领域。微流控芯片制作简单、成本低,微米级别的尺寸减小了样品的消耗,成为各种在线微量检测的首选。流体混合过程可分为层流混合和湍流混合。微混合芯片中由于通道特征尺度在微米级,雷诺数远小于2000,流动多为层流,混合效率不高。目前主要采用主动式或被动式两种方式改善混合效果。主动式混合要借助外力,例如磁力、声场力、电场力等多种方式变层流为湍流提高混合效果。主动式混合芯片效率高,尺度小,但是加工较为复杂,集成难度大。被动式混合是指单纯利用微沟道几何形状或流体特性的变化,不借助其它外力实现混合。常用的有通过设计复杂的三维微流道,来产生混沌增强混合效果;或者借助微流道壁面不同形状的凸起来增强混合效果。这些被动混合芯片的结构都增加了加工难度,提高了代价,且容易产生死角不利于冲洗后的重复利用。专利CN102120153A公开了的多模式混合芯片为主动式混合,借助虚拟电极产生的电场提高混合效果,芯片中间层为光电导层,成本高,整体结构复杂,不易于集成应用。文献 Numerical simulation on fluid mixing by effects of geometry in staggeredoriented ridges micromixers中介绍了目前常用的被动混合结构,通过在微流道壁面设计不同形状的凸起来增加流体流动过程的混沌效应,确实可以提高混合效果。其缺点就是增加了微流道加工难度、提高了成本,且产生流动死角不利于微流道的冲洗和重复利用。
技术实现思路
本专利技术的目的是克服现 有被动微混合芯片的不足,提出一种结构简单、加工成本低、液体消耗量少、混合效率高的微混合芯片。本专利技术能够在流速较高的情况下实现样品试剂的高效混合,在流速较低的情况下实现样品试剂的低损伤柔性混合。本专利技术集微混合沟道与光纤检测沟道为一体,能够利用光谱仪方便快捷的对各种检测指标进行连续微量检测。本专利技术是通过以下技术方案实现的:本专利技术微混合检测芯片包括:m个入口、I个出口、混合沟道、检测沟道、2个光纤沟道、基片和盖片。所述的m个入口并列分布在一直线上,与混合通道相通。除第m个入口在混合通道主干上外,其余第I个入口到第m-Ι个入口处的沟道分别分为两个分支,从下一个入口的两侧汇入混合通道主干。所述的混合沟道与检测沟道相连,2个光纤沟道分别位于检测沟道的两侧。混合沟道、检测沟道和光纤沟道均刻于基片上。盖片与刻有沟道的基片键合。盖片上设有m个输入孔、I个输出孔,m个输入孔与基片上的m个入口相连通,输出孔与基片上的出口相连通,m为正整数且不小于2。入口个数m根据需要混合的液体的种类而定,一种液体通过一个入口输入混合沟道。至少需要两种不同液体混合,因此至少需要设置两个入口。所述的检测沟道内有待检测液体,所述的待检测液体从混合沟道流入。两个光纤沟道分别为插入入射光纤的入射光纤沟道和插入接收光纤的接收光纤沟道,入射光纤沟道、检测沟道、接收光纤沟道三者位于同一直线上。所述的基片可由光刻胶SU-8、聚二甲基硅氧烷等聚合物通过光刻或模塑法加工获得。盖片也可由光刻胶SU-8、聚二甲基硅氧烷等聚合物加工或者直接采用玻璃片加工获得。盖片与基片通过键合工艺实现封装。所述的混合沟道的宽度从入口处向内逐渐减小,由与入口相匹配的800微米逐渐减小为100微米。混合沟道由X个菱形沟道串联组成,X个菱形沟道之间由直线形的沟道连接,X为正整数且不小于5。混合沟道的菱形沟道的拐角处进行圆角化处理。所述的检测沟道为10毫米长的标准检测沟道,检测沟道宽度和深度与所使用的光纤匹配。所述的两个光纤沟道分别位于检测沟道两侧,两个光纤沟道的中心线与检测沟道的中心线对准,即两个光纤沟道与检测沟道位于同一直线上。光纤沟道的尺寸与插入的光纤或光纤外套相同,均为宽度800微米、长度I毫米、深度800微米。所述的盖片上的输入孔、输出孔与基片上的入口、出口相通,盖片上的输入孔、输出孔外接软管便于与外围设备相连。本专利技术能够克服现有被动混合芯片效率低的劣势。通过混合沟道使液体不断的分、合,使液体浓度差与流速方向多次一致来提高混合效率。本专利技术对混合沟道菱形的拐角处进行圆角化处理,避免死角的产生,这种圆弧转弯更接近于流体流动轨迹,更利用芯片的清洁冲洗重复利用。本专利技术继承了被动混合芯片结构简单、成本低、易于集成的优势,并提高了混合反应效率,可实现快速高效混合检测。可应用于在线微量检测系统,连续监测所需指标动态变化。附图说明下面结合附图和具体实施例对本专利技术进一步说明。图1是本专利技术微混合检测芯片的结构示意图;图2是本专利技术的微混合检测芯片俯视图。具体实施例方式如图1和图2所示,本专利技术微混合检测芯片的实施例有两个入口 3、4和一个出口7,两个光纤沟道8、9。本实施例包括:盖片1,基片2,入口 3、4,出口 7,检测沟道6,光纤沟道8、9,混合沟道5。所述的第一入口 3位于第二入口 4的前端,两个入口位于同一直线上,与混合通道相通。在第一入口 3处的混合通道分为两个分支,两个分支从第二入口 4的两侧汇入混合通道主干。两个入口 3、4与混合沟道5的一端相通,由第一入口 3流入的液体A在第一入口 3流入后边分成两个分支,在第二入口 4的两侧汇入混合沟道主干,与从入口4流入的液体B混合。混合沟道5的另一端与检测沟道6 相通。光纤沟道8、9位于检测沟道6的两侧,且光纤沟道8、9与检测沟道6三者的中心线位于同一直线上,光纤沟道8、9与检测沟道6三者互不相通。混合沟道5、检测沟道8、9和光纤沟道6通过微细加工技术制作于基片2上,盖片I与基片2相键合。盖片I上开有分别与两个入口 3和4连接的两个输入孔10和11,盖片I上还开有与出口 7连接的输出孔12。输入孔10和11、输出孔12可外接软管用作试剂、样品的输入输出。所述的两个入口 3、4的宽度为800微米,深度为100微米。所述的混合沟道5由X个菱形沟道串联组成,X个菱形沟道之间由直线形的沟道连接。混合沟道5深100微米,宽度51-55由入口处51的800微米,逐渐递减为500微米、300微米、200微米、100微米,宽度递减到100微米后和下游菱形沟道宽度和深度相同,均为宽度100微米,深度100微米的微沟道。混合沟道中的菱形沟道,也可呈两个对称的半圆或正弦状,位于每个菱形沟道下游的直线形沟道宽度等于该菱形沟道宽度。菱形沟道每边的边长和下游与之相连的直线形沟道长度相等。从入口 3、4流入的液体A和B流经菱形沟道时被迫分成两条支流,再流到直线形沟道时被迫合并为一体,直线形沟道宽度为两支流宽度和的一半,所以对混合液体产生纵向的力促使其纵向扩散加快混合。通过X个菱形沟道与直线形沟道的交叉重复,实现液体高速混合。其中,X为正整数且不小于5。所述的检测沟道6长度10毫米、宽度800微米、深度800微米。 所述的出口 7宽度为800微米、深度800微米。所述的光线沟道8和9长度为10毫米、宽度800微米、深度800微米。所述盖片I上的输入孔10、11和输出孔12直径为800微米。本实施例先制作掩膜版,在掩膜版上制作入本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种微混合检测芯片,其特征在于,所述的微混合检测芯片包括:m个入口、1个出口、混合沟道(5)、检测沟道(6)、2个光纤沟道(8、9)、基片(2)和盖片(1);所述的混合沟道(5)的一端与检测沟道(6)相连通,混合沟道(5)的另一端与入口相连通;2个光纤沟道(8、9)分别位于检测沟道(6)的两侧;混合沟道(5)、检测沟道(6)和光纤沟道(8、9)均刻于基片(2)上;盖片(1)与刻有沟道的基片键合;盖片(1)上设有m个输入孔、1个输出孔,m个输入孔与基片(2)上的m个入口相连通,输出孔与基片(2)上的出口相连通,m为正整数且不小于2;两个光纤沟道(8、9)分别为插入入射光纤的入射光纤沟道和插入接收光纤的接收光纤沟道,入射光纤沟道、接收光纤沟道与检测沟道(6)三者的中心线位于同一直线上,三者互不相通。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:曹越霍小林吴昌哲张广浩
申请(专利权)人:中国科学院电工研究所
类型:发明
国别省市:

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