电子零件保持装置以及具备此电子零件保持装置的电子零件检查装置、电子零件分类装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够兼顾电子零件的保持装置的升降速度的高速化与对电子零件施加的负荷的精密控制的电子零件保持装置、以及具备此电子零件保持装置的电子零件检查装置、电子零件分类装置。电子零件保持装置（3）具有吸嘴（301）、伺服马达（318）及音圈马达（309）。吸嘴（301）相对于载置位置而可升降地受到支撑，使电子零件（D）保持及脱离。伺服马达（318）使吸嘴（301）相对于载置位置而升降。音圈马达（309）是独立于伺服马达（318）而配置，经由吸嘴（301）来控制对载置于载置位置上的电子零件（D）的负荷。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种保持电子零件的电子零件保持装置、以及一边利用该电子零件保持装置来保持电子零件一边向各工序处理搬送电子零件的电子零件检查装置、一边利用电子零件保持装置来保持电子零件一边予以搬送的电子零件分类装置。
技术介绍
在半导体元件等电子零件的制造工序中，在向各种处理工序搬送时多使用电子零件保持装置。例如，在电子零件的制造后工序中，要进行标记(marking)处理、外观检查、电气特性检查、引线(lead)成形处理、电子零件的分类以及捆包等的处理，而进行该后工序的电子零件检查装置，是在向各种处理工序搬送电子零件的搬送机构中配设有电子零件保持装置。而且，将排列在晶片片材(wafer sheet)上的发光二极管(Light Emitting Diode,LED)芯片(chip)等的电子零件按照每种品质进行再排列的电子零件分类装置，是在晶片片材与再排列板(plate)之间往复的臂(arm)上排列有电子零件保持装置。该电子零件保持装置具有相对于电子零件的载置位置而可升降的保持装置，使该保持装置下降至载置位置，在 载置位置使电子零件脱离，或者从载置位置获取电子零件。保持装置例如是管(pipe)内部与空气压回路连通的吸嘴，通过产生真空来吸附位于载置位置的电子零件，通过破坏真空来使电子零件脱离至载置位置。此类型的电子零件保持装置，例如是通过使用凸轮(cam)、杠杆(lever)及连杆(rod)等装置而构成的驱动机构，来使吸嘴朝载置位置升降(例如，参照专利文献1、专利文献2)。然而，随着近年来的电子设备的急速进展，在制造工序中要求的处理速度正高速化。因此，使电子零件保持装置的吸嘴升降的速度也要求高速化。另一方面，随着电子设备的小型化，电子零件正薄壁化，因此从防止损伤(damage)的观点而言，在接纳时及交接时吸嘴对电子零件施加的负荷管理的要求也变高。而且，在负荷管理中，视处理工序而要求的负荷有时不同。例如，在电子零件的电极切断或加工工序中，为了固定电子零件，需要大的负荷。另一方面，在电气特性测定工序中，并不需要那么大的负荷，而且，在胶带捆包、标记、外观检查工序等中，几乎不需要负荷。进而，例如在电气特性检查中，为了获得具有可靠性的测试(test)结果或良好的重复性，重要的是使电子零件与探针插座(probe socket)以固定的负荷而接触。尤其,在小型的电子零件中，多要求高精度且稳定地维持例如2牛顿(Newton)以下等的低负荷。如此，对于电子零件保持装置，期望能够精密且稳定地控制对电子零件施加的负荷。作为进行负荷控制的机构，考虑利用弹簧(spring)或气缸(air cylinder)来进行负荷控制的机构。而且，考虑如下机构:利用可进行扭矩(torque)控制的伺服马达(servomotor)与凸轮机构来进行负荷控制，并且兼进行吸嘴的加工速度或位置控制。对利用伺服马达与凸轮机构的电子零件保持装置进行简单说明。首先，在与吸嘴为同轴上，通过轴承可滑动地配设有连杆。在伺服马达的旋转轴上，可旋转地固定有圆筒凸轮，凸轮从动件(cam follower)抵接于该圆筒凸轮。圆筒凸轮与凸轮从动件将伺服马达的旋转力转换成下压连杆的方向。当使伺服马达旋转时，连杆朝向吸嘴下降，朝向电子零件的载置位置下压吸嘴。当吸嘴经由电子零件而抵接于载置位置时，调整伺服马达的扭矩以对电子零件施加所需的负荷。电子零件检查装置中，在处理电子零件的每个处理工序中，通过调整伺服马达的扭矩，从而在每个处理工序中对电子零件施加所需的负荷。现有技术文献专利文献专利文献1:日本专利第2620646号公报专利文献2:日本专利特开2002-127064号公报
技术实现思路
专利技术欲解决的课题如上所述，对于电子零件保持装置，期望能够精密且稳定地控制对电子零件施加的负荷，但在利用弹簧的例子中，存在无法容易地变更负荷的问题。在利用气缸的例子中，由于在特性上响应性慢，因此无法高速化地回应。当利用伺服马达与凸轮机构来进行负荷控制、速度控制、位置控制时，虽能在一定程度上满足负荷的可变与高速化的要求，但在伺服马达的特性上，例如若要施加2牛顿以下这一范围的低负荷，则控制会变得不稳定。如此，尤其在电气特性检查中，有可能无法获得具有可靠性的测试结果或良好的重复性。在高频特性等的AC测试中，该倾向变强。本专利技术是为了 解决如上所述的现有技术的问题而提出的，其目的在于提供一种能够兼顾电子零件的保持装置的升降速度的高速化与对电子零件施加的负荷的精密控制的电子零件保持装置、以及具备此电子零件保持装置的电子零件检查装置、电子零件分类装置。解决课题的技术手段本专利技术的电子零件保持装置对于载置位置进行电子零件的接纳及交接，所述电子零件保持装置的特征在于包括:保持装置，相对于所述载置位置而可升降地受到支撑，以使所述电子零件保持及脱离；驱动控制装置，使所述保持装置相对于所述载置位置而升降；以及负荷控制装置，独立于所述驱动控制装置而配置，经由所述保持装置来控制对载置于所述载置位置上的所述电子零件的负荷。所述驱动控制装置也可包括:背离赋能体，朝背离所述载置位置的方向对所述保持装置赋能；驱动体，配置于所述保持装置的上方，相对于所述载置位置而可升降地受到支撑；以及马达，抵抗所述背离赋能体的赋能，经由所述驱动体来使所述保持装置朝所述载置位置的方向下降，所述负荷控制装置包括:音圈马达(voice coil motor)，配置于所述驱动体上，对应于所施加的电压值而使按压力可变；以及连杆，以位于所述保持装置的同轴上的方式而配置于所述驱动体上，将所述音圈马达的所述按压力传递至所述保持装置。所述负荷控制装置也可还包括:辅助赋能体，以抵消所述背离赋能体的赋能力的方式，朝所述保持装置的方向对所述连杆赋能。而且，本专利技术的电子零件检查装置一边搬送电子零件，一边进行各种工序处理，所述电子零件检查装置的特征在于包括:各种工序处理装置，排列配置在所述电子零件的处理路径上，且各自具有载置所述电子零件的载台；搬送装置，将所述电子零件搬送至所述各种工序处理装置；保持装置，配置于所述搬送装置上，并且相对于所述载台而可升降地受到支撑，对所述载台交接所述电子零件；驱动控制装置，使所述保持装置相对于所述载台而升降；以及负荷控制装置，独立于所述驱动控制装置而配置，经由所述保持装置来控制对载置于所述载台上的所述电子零件的负荷。所述驱动控制装置也可包括:背离赋能体，朝背离所述载台的方向对所述保持装置赋能；驱动体，配置于所述保持装置的上方，相对于所述载台而可升降地受到支撑；以及马达，抵抗所述背离赋能体的赋能，经由所述驱动体来使所述保持装置朝所述载台的方向下降，所述负荷控制装置包括:音圈马达，配置于所述驱动体上，对应于所施加的电压值而使按压力可变；以及连杆，以位于所述保持装置的同轴上的方式而配置于所述驱动体上，将所述音圈马达的所述按压力传递至所述保持装置。所述负荷控制装置也可还包括:辅助赋能体，以抵消所述背离赋能体的赋能力的方式，朝所述保持装置的方向对所述连杆赋能。也可对应于具有交接所述电子零件的所述载台的所述各种工序处理装置，来使施加至所述音圈马达的电压值可变。而且，本专利技术的电子零件分类装置从排列有多个未分类状态的电子零件的晶片片材上，基于规定的分类信息来拾取(本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：増田高之，
申请(专利权)人：上野精机株式会社，
类型：
国别省市：