【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及太阳能电池生产领域，特别涉及一种线性等离子体源。
技术介绍
随着科技的进步，太阳能电池的应用越来越广泛，在太阳能电池的硅片沉膜或刻蚀的过程中，需要用到线性等离子体源来产生用于沉膜的等离子。现有技术中，线性等离子体源主要有中空阴极等离子体源、微波线性等离子体源等。现有技术中的微波线性等离子体源，具有与产生微波的装置连接的导管，导管位于反应室内，反应室内安装产生磁场的装置，反应室内先加载了反应气体，导管将微波馈入到反应室中，使反应室中的反应气体形成等离子体，再通过磁场装置的指引由等离子出口向外排出。但是现有技术的线性等离子体源，生产成本较高，工艺复杂，并且等离子体的均匀性得不到保障
技术实现思路
本专利技术实施例提供结构简单，生产制作成本低，均匀性好，膜层致密性高的一种线性等离子体源。一种线性等离子体源，包括:外壳，所述外壳形成具有出口的反应室；进气系统，包括内部管道，所述内部管道安装在所述外壳上，位于所述反应室内，用于向反应室内释放反应气体；电极系统，包括至少两个电极板，所述电极板安装在外壳上，位于所述反应室内的内部管道周围；电磁系统，包括电磁线圈，所...
【技术保护点】
一种线性等离子体源，其特征在于，包括：外壳，所述外壳形成具有出口的反应室；进气系统，包括内部管道，所述内部管道安装在所述外壳上，位于所述反应室内，用于向反应室内释放反应气体；电极系统，包括至少两个电极板，所述电极板安装在外壳上，位于所述反应室内的内部管道周围；电磁系统，包括电磁线圈，所述电磁线圈安装在所述外壳反应室的出口处，具有等离子出口。
【技术特征摘要】
1.一种线性等离子体源，其特征在于，包括: 外壳，所述外壳形成具有出口的反应室； 进气系统，包括内部管道，所述内部管道安装在所述外壳上，位于所述反应室内，用于向反应室内释放反应气体； 电极系统，包括至少两个电极板，所述电极板安装在外壳上，位于所述反应室内的内部管道周围； 电磁系统，包括电磁线圈，所述电磁线圈安装在所述外壳反应室的出口处，具有等离子出口。2.根据权利要求1所述的线性等离子体源，其特征在于，所述进气系统还包括: 外部管道，所述外部管道位于所述电磁线圈下方，邻接所述等离子出口，用于释放易污染等离子体源的工艺气体； 所述内部管道用于释放易电离且不易污染等离子体源的工艺气体。3.根据权利要求2所述的线性等离子体源，其特征在于， 所述内部管道具有多个气孔，所述易电离且不易污染等离子体源的工艺气体为氨气； 所述外部管道采用金属多孔材料制成，所述易污染等离子体源的工艺气体为硅烷； 所述进气系统还包括安装在外壳上，用于固定外部管道的U形槽。4.根据权利要求1所述的线性等离子体源，其特征在于， 所述电极系统包括两个平行的电极板，所述电极板位于内部管道的两侧； 所述电极系统还包括电极水冷管道...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈洁欣，徐志明，刘月娥，
申请(专利权)人：深圳市劲拓自动化设备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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