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本发明实施例公开了一种线性等离子体源，应用于太阳能电池生产领域。一种线性等离子体源，包括：外壳，所述外壳形成具有出口的反应室；进气系统，包括内部管道，所述内部管道安装在所述外壳上，位于所述反应室内，用于向反应室内释放反应气体；电极系统，包括...
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