一种湿敏元件制造技术

技术编号:8980292 阅读:149 留言:0更新日期:2013-07-31 22:23
本发明专利技术涉及一种电阻式湿敏元件的制备方法,该湿敏元件基底材料为掺杂碱金属离子的GdCoxFe1-xO3,首先制备GdCoxFe1-xO3纳米晶;将称量好的碱金属碳酸盐快速地加入到GdCoxFe1-xO3纳米晶材料中,得到湿敏元件的基底材料;最后,将基底材料研磨成浆料,用传统的表面涂布法将浆料涂敷在印有叉指状电极的陶瓷基片上,烘干后制成电阻式湿敏元件,老化24小时。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种电阻式湿敏元件及其制备方法,尤其涉及一种掺杂碱金属离子的电阻式湿敏元件及其制备方法。
技术介绍
湿敏元件的发展在传感器行业中占有重要的位置,湿敏元件及传感器属于传感器
湿度传感器是检测外界环境湿度的器件,它将所检测环境湿度转换为便于处理、显示、记录的电信号。它是一类重要的化学传感器,它是利用感湿材料的吸附作用直接吸附水分子,使其表面或体介电特性等感湿特征量发生变化,经过检测连接外围电路敏感元件的输出信号变化而测量湿度的器件。湿度传感器己在仓储、工业生产、过程控制、环境检测、家用电器、气象方面有着广泛的应用,如:精密电子元件的制造、航天导弹、火箭的存储、粮食的防霉、高空气象探测、温室种植、禽蛋的贮存等。目前国内外研究和应用十分活跃。纳米材料是完全纯净、结构没有缺陷的新型材料。纳米材料能吸附周围气体或吸收光,使电性质发生变化,出现升温现象等,这些作为传感器的特性,已引起人们的注意,如研制的纳米感应膜,完全符合微小化,并且这种膜因生成条件不同能发生各种各样的变化,以此来作为化学传感器的材料是大有发展前景的。
技术实现思路
为了解决上述问题,本专利技术的目的在于提出一种电阻式湿敏元件以及制备方法,该湿敏元件基底材料为掺杂碱金属离子的GdCoxFei_x03。以分析纯Gd (NO3) 3.6H20, Fe (NO3) 3.9H20 和 Co (NO3) 2.6H20 为原料,按化学计量比称取这三种硝酸盐分别用去离子水溶解,然后将这三种溶液混合,加入一定量的柠檬酸搅拌使之溶解,在80°C蒸发去水,形成原粉。将原粉研磨,然后在焙烧2h得到GdCOxFei_x03纳米晶。称取一定量的GdCoxFehO3纳米晶材料放入玛瑙研钵中,按不同的掺杂质量比称取碱金属的碳酸盐;将称量好的碱金属碳酸盐快速地加入到GdCoxFehO3纳米晶材料中,研磨4个小时使掺杂剂均匀分散其中,最后在300° C下焙烧2h得到湿敏元件的基底材料。将基底材料研磨成浆料,用传统的表面涂布法将浆料涂敷在印有叉指状电极的陶瓷基片上,烘干后制成电阻式湿敏元件,老化24小时。附图简要说明附图说明图1为掺杂不同质量百分比的Li2CO3的GdCOxFei_x03纳米晶的湿敏特性曲线;图2为掺杂不同质量百分比的Na2CO3的GdCoxFei_x03纳米晶的湿敏特性曲线。图3为掺杂不同质量百分比的K2CO3的GdCoxFelxO3纳米晶的湿敏特性曲线。具体实施例方式本专利技术 的阻式湿敏元件按照如下方法制备,该湿敏元件基底材料为掺杂碱金属离子的 GdCoxFe1^O3O 以分析纯 Gd (NO3) 3.6H20, Fe (NO3) 3.9H20 和 Co (NO3) 2.6H20 为原料,按化学计量比称取这三种硝酸盐分别用去离子水溶解,然后将这三种溶液混合,加入一定量的柠檬酸搅拌使之溶解,在80°C蒸发去水,形成原粉。将原粉研磨,然后在不同的温度下焙烧2h得到GdCOxFei_x03纳米晶。称取一定量的GdCoxFei_x03纳米晶材料放入玛瑙研钵中,按不同的掺杂质量比称取碱金属的碳酸盐;将称量好的碱金属碳酸盐快速地(碱金属的碳酸盐很容易潮解)加入到GdCOxFei_x03纳米晶材料中,研磨4个小时使掺杂剂均匀分散其中,最后在300° C下焙烧2h得到湿敏元件的基底材料。将基底材料研磨成浆料,用传统的表面涂布法将浆料涂敷在印有叉指状电极的陶瓷基片上,烘干后制成电阻式湿敏元件,老化24小时。图1,2,3分别显示了掺杂不同质量百分比的Li2CO3, Na2CO3, K2CO3的GdCoxFei_x03纳米晶的湿敏特性曲线,测试频率为100Hz,电压为1.0V0从图中可以看出掺杂了碱金属碳酸盐后,纳米晶的湿敏特性均有了不同程度的改善,掺杂剂的引入使元件的电阻减小,使它在低湿度11%RH-54%RH范围内的灵敏度有了很大的改善。适量的掺杂能得到在全程湿度范围内湿敏特性良好的元件,三种掺杂剂都有一个最佳的掺杂浓度,当Li2CO3的掺杂量为8wt.%、16wt.%,Na2CO3 为 8wt.%、IOwt.%,K2CO3 为 2wt.% (3.5at.%)时,基于此掺杂浓度的样品的湿敏元件在全程湿度范围内的线性度好,灵敏度的大小依次为K2C03-GdCoxFei_x03>Na2C03-GdCoxFei_x03>Li2C03-GdCoxFei_x03,掺杂较少量的Li2CO3就能使元件灵敏度改善最大,元件的电阻在全程湿度量程范围内变化了 4个数量级。因为掺杂剂的量越大,越不容易均匀掺杂,这样元件的一致性和重 复性就会差一些,所以最佳掺杂剂为Li2C03。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电阻式湿敏元件的制备方法,该湿敏元件基底材料为掺杂碱金属离子的GdCoxFe1?xO3,首先,以分析纯Gd(NO3)3·6H2O,Fe(NO3)3·9H2O和Co(NO3)2·6H2O为原料,按化学计量比称取这三种硝酸盐分别用去离子水溶解,然后将这三种溶液混合,加入一定量的柠檬酸搅拌使之溶解,在80℃蒸发去水,形成原粉;将原粉研磨,然后在焙烧2h得到GdCoxFe1?xO3纳米晶;然后,称取一定量的GdCoxFe1?xO3纳米晶材料放入玛瑙研钵中,按不同的掺杂质量比称取碱金属的碳酸盐;将称量好的碱金属碳酸盐快速地加入到GdCoxFe1?xO3纳米晶材料中,研磨4个小时使掺杂剂均匀分散其中,在300°C下焙烧2h得到湿敏元件的基底材料;最后,将基底材料研磨成浆料,用传统的表面涂布法将浆料涂敷在印有叉指状电极的陶瓷基片上,烘干后制成电阻式湿敏元件,老化24小时。

【技术特征摘要】
1.一种电阻式湿敏元件的制备方法,该湿敏元件基底材料为掺杂碱金属离子的GdCoxFe1^xO3,首先,以分析纯Gd (NO3) 3.6H20, Fe (NO3) 3.9H20和Co (NO3) 2.6H20为原料,按化学计量比称取这三种硝酸盐分别用去离子水溶解,然后将这三种溶液混合,加入一定量的柠檬酸搅拌使之溶解,在80°C蒸发去水,形成原粉;将原粉研磨,然后在焙烧2h得到GdCOxFei_x03...

【专利技术属性】
技术研发人员:王明刚王雪梅孟宪斌
申请(专利权)人:青岛润鑫伟业科贸有限公司
类型:发明
国别省市:

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