大容量高分子湿敏元件制造技术

本实用新型专利技术属于通过电容变化检测气氛湿度的湿敏元件。它是在绝缘基片上置一层下电极和上电极引出点的金属薄膜，然后涂覆高分子感湿膜。在与上电极引出点位置对应的感湿膜上光刻出数个小孔，感湿膜上再置一层上电极的金属膜并由小孔与上电极引出点连接在一起。同现有技术相比，它有效地利用了基片面积，可使湿敏元件的电容值在５０％ＲＨ处高于２５０ＰＦ，是现有电容元件的４倍以上。具有电容量大、体积小、测量准确度高的特点。（*该技术在2009年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于传感器领域中的湿敏元件，尤其是通过电容变化检测气氛湿度的湿敏元件。高分子薄膜电容式湿敏元件是以高分子为介电质的平板电容器，它是在起支撑作用的绝缘基片上采用真空镀膜或者溅射方法淀积上一层金属，光刻出一定图形作为下电极，在它的上面涂敷一层感湿高分子材料作为介电质，然后用同样方法在介电质上面再淀积上一层极薄的金属膜，形成上电极。上电极极薄，并具有多孔性，水分子可以自由通过。但是，这样薄的电极，引线如何引出便是个很关键的问题。现有技术中解决此问题有两种作法，一种是在基片上布置一对叉指状下电极或者两个对称的门形下电极，形成两个串联电容器，上电极起串联作用，引线从基片上的两个下电极引出。例如，中国专利公开的《耐高温高分子湿敏元件》，ZL91223530.6号专利技术就属于此类结构。另一种是在基片上设置一个下电极，并在下电极周边设置一个上电极引出部分，利用光刻感湿膜办法使蒸镀上电极与上电极引出部分进行连接，上下电极引线也可在基片上引出。例如，中国专利公开的《薄膜电容式湿敏装置》，ZL95222307.4号专利技术就属于这类结构。采用第一种作法而形成的结构缺点是，因形成两个串联电容和本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种大容量高分子湿敏元件，它包括绝缘基片（１），其特征在于：所述绝缘基片（１）上置有一下电极（２）和上电极引出点（３）的金属薄膜，在这有下电极（２）和上电极引出点（３）的绝缘基片（１）上涂敷高分子感湿膜（４），在与上电极引出点（３）位置对应的感湿膜（４）上光刻出数个小孔（５），感湿膜（４）上再置有一层上电极（６）的金属薄膜并通过感湿膜（４）上的小孔（５）与上电极引出点（３）牢固地连接在一起，下电极（２）的引脚点和上电极引出点（３）焊在所设引脚座（７）的引脚上，引脚座（７）上安装可包容感湿片的保护罩（８）。

【技术特征摘要】
1.一种大容量高分子湿敏元件，它包括绝缘基片(1)，其特征在于所述绝缘基片(1)上置有一下电极(2)和上电极引出点(3)的金属薄膜，在这有下电极(2)和上电极引出点(3)的绝缘基片(1)上涂敷高分子感湿膜(4)，在与上电极引出点(3)位置对应的感湿膜(4)上光刻出数个小孔(5)，感湿膜(4)上再置有一层上电极(6)的金属薄膜并通过感湿膜(4)上的小孔(5)与上电极引出点(3)牢固地连接在一起，下电极(2)的引脚点...

【专利技术属性】
技术研发人员：郝光宗，邢丽缘，梁强威，
申请(专利权)人：清华同方股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]