一种用于生产超净高纯盐酸的工艺制造技术

本发明专利技术公开了一种用于生产超净高纯盐酸的工艺，该工艺包括选料，选浓度为36～38％的盐酸溶液为原料；稀释，用去离子水将原料稀释至35％；精馏，将稀释后的原料添加到内热式的精馏设备中，并向盐酸吸收器内通入冷却水，同时启动内热装置开始对原料加热；吸收，当原料被加热蒸发生成气态盐酸与水蒸气后，气态盐酸与水蒸气通过管路在盐酸吸收器内重新形成盐酸溶液，此时再持续向精馏设备中添加原料，同时打开排渣阀；拼配，再将盐酸溶液抽到混合罐中，在混合罐内进行拼配处理，控制在37％左右；过滤分装，将拼配后的盐酸溶液通过过滤器过滤成成品盐酸溶液，然后进行分装。该工艺是连续性强、提纯度高、杂质含量低的超净高纯盐酸的制备方法。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种生产超净高纯盐酸的生产工艺。高纯盐酸主要适用于微电子工业制造大规模集成电路半导体器件行业中作为清洗之用。属微电子化学试剂

技术介绍
随着半导体技术的迅速发展，对超净高纯试剂的要求越来越高。在集成电路(IC)的加工过程中，超净高纯试剂主要用于芯片及硅圆片表面的清洗和刻蚀，其纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性有着十分重大的影响。超净高纯盐酸作为一种重要的微电子化学品已经广泛用于半导体、大规模集成电路加工过程中的清洗、干燥等方面。随着IC的加工尺寸已进入亚微米、深亚微米时代，对与之配套的超净高纯盐酸提出了更高的要求，要求颗粒和杂质含量降低I 3个数量级，达到国际半导体设备和材料组织制定的SEMI C12标准， 其中金属阳离子含量小于0.lppb，颗粒大小控制在0.5 μ m以下。目前，超净高纯盐酸通常是以工业级盐酸为原料纯化精制而成。精馏是工业化提纯盐酸的主要方法，包括共沸精馏、萃取精馏等。但是用于微电子化学品工业的超净高纯盐酸对其中金属杂质，颗粒大小含量和阴离子的要求十分苛刻，现有的精馏工艺已经无法满足要求。中国专利CN1488750A公开了一种本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于生产超净高纯盐酸的工艺，其特征在于，所述工艺包括如下工艺步骤：第一步选料，选用浓度为36～38％的精制级盐酸溶液为原料；第二步稀释，用去离子水将所述原料的浓度稀释至35％；第三步精馏，将稀释后的原料添加到内热式的精馏设备中，其中所述精馏的设备通过管路与盐酸吸收器连接，将原料添加到到设定液面的±10mm后，向所述盐酸吸收器内的螺旋盘管中通入冷却水，同时启动内热装置开始对原料加热；第四步吸收，当原料被加热蒸发生成气态盐酸与水蒸气后，所述气态盐酸与水蒸气通过管路在盐酸吸收器内重新形成盐酸溶液，此时再持续向精馏设备中添加所述原料，同时打开排渣阀；第五步拼配，再将盐酸吸收器内的盐酸溶液抽到混合罐...

【技术特征摘要】
1.一种用于生产超净高纯盐酸的工艺，其特征在于，所述工艺包括如下工艺步骤: 第一步选料，选用浓度为36 38%的精制级盐酸溶液为原料； 第二步稀释，用去离子水将所述原料的浓度稀释至35% ； 第三步精馏，将稀释后的原料添加到内热式的精馏设备中，其中所述精馏的设备通过管路与盐酸吸收器连接，将原料添加到到设定液面的±10mm后，向所述盐酸吸收器内的螺旋盘管中通入冷却水，同时启动内热装置开始对原料加热； 第四步吸收，当原料被加热蒸发生成气态盐酸与水蒸气后，所述气态盐酸与水蒸气通过管路在盐酸吸收器内重新形成盐酸溶液，此时再持续向精馏设备中添加所述原料，同时打开排渣阀； 第五步拼配，再将盐酸吸收器内的盐酸溶液抽到混合罐中，在混合罐内进行拼配处理，通过拼配将盐酸溶液的浓度控制在37%左右； 第六步过滤分装，将拼配后的盐酸溶液通过过滤器过滤成成品盐酸溶液，然后进行分装。2.如权利要求1所述的用于生产超净高纯盐酸的工艺，其特征在于，所述精馏工艺至少要经过一级精馏。3.如权利要求1所述的用于生产超净高纯盐酸的工艺，其特征在于，所述精馏设备为内部电加热式石英精馏设备。4.如权利要求1所述的用于生产超净高纯盐酸的工艺，其特征在于，在所盐酸吸收器内设有密度计或密度传感器，依据密度的设定值1.18g/ml，通过人工或自动地控制原料加入到精馏设备中的流量 。5.如权利要求1所述的用于生产超净高纯盐酸的工艺，其特征在于，在所述混合罐内设有四氟聚乙烯内衬。6.如权利要求1所述的用于生产超净高纯盐酸的工艺，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：戈士勇，
申请(专利权)人：江阴润玛电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：