一种去胶液用混合搅拌装置制造方法及图纸

技术编号:40382717 阅读:7 留言:0更新日期:2024-02-20 22:19
本技术涉及集成电路制造技术领域,具体公开了一种去胶液用混合搅拌装置,包括搅拌桶组件,所述搅拌桶组件包括搅拌桶体与搅拌桶体上端扣设的搅拌桶盖,所述搅拌桶组件的中间设有搅拌组件,且在搅拌桶组件的上端设有配料组件,所述搅拌桶组件的下端设有回收组件;本技术中,搅拌桶盖上端左右两侧的搅拌电机同步对向或背向旋转,并且左右两侧搅拌主轴外侧的搅拌杆交错排列,提高搅拌效率与搅拌质量;通过配料组件配料,配料在搅拌桶组件内汇聚,通过搅拌组件进行搅拌,通过回收组件进行回收,整个架构从上到下整体结构较为紧凑,配料输送距离端,配送效率高,进一步提高去胶液的制备效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及集成电路制造,具体为一种去胶液用混合搅拌装置


技术介绍

1、集成电路制造过程中会使用到光刻胶,加工完成后需要去除光刻胶,去除光刻胶一般用到去胶液,去胶液一般通过多种溶液组分搅拌混合而成,一般的去胶液混合搅拌装置具有较好的搅拌效果,如专利号为cn215877108u公开了一种去胶液用混合搅拌装置,包括搅拌腔、搅拌结构、若干个配料结构和若干个临时存储结构,临时存储结构与配料结构一一对应,配料结构包括输送管、输送调节阀和连接在输送管上的输送泵,输送泵的进液口连接有用于存储原料的存储罐,输送调节阀连接在输送管上,临时存储结构包括计量罐、送料管、回流管和回流泵,送料管连接在计量罐的底部,送料管与搅拌腔连通,能够通过配料结构和临时存储结构的配合,首先通过配料结构对去胶液所使用的各种原料速配比,在配比完成后,将原料输送到搅拌腔中,然后通过搅拌结构连续对去胶液进行搅拌生产,搅拌效率高,该专利技术能够满足一般使用要求,但其在现实的使用过程中还存在以下不足之处:

2、1.现有技术中的去胶液用混合搅拌装置,采用单机单向搅拌,搅拌方向单一,搅拌效果又带有进一步提高;

3、2.现有技术中的去胶液用混合搅拌装置,配料输送距离较长,整体架构不够紧凑,配送效率有待于进一步提高。


技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种去胶液用混合搅拌装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种去胶液用混合搅拌装置,包括搅拌桶组件,所述搅拌桶组件包括搅拌桶体与搅拌桶体上端扣设的搅拌桶盖,所述搅拌桶组件的中间设有搅拌组件,且在搅拌桶组件的上端设有配料组件,所述搅拌桶组件的下端设有回收组件。

3、优选的,所述搅拌桶体上端的外侧环向设有连接法兰i,所述搅拌桶盖的下端环向设有连接法兰ii,所述连接法兰i与连接法兰ii通过螺栓相固定连接,所述搅拌桶体的下端向下固定连通有出料口,所述搅拌桶体下端的外侧固定设有支撑柱i,所述支撑柱i的内侧并且在搅拌桶体的下端环向固定安装有超声波振子。

4、优选的,所述搅拌桶盖的上端设有集料仓,且在集料仓下端面的外侧与搅拌桶盖的上端之间环向固定连接有支撑柱ii,由集料仓的下端向搅拌桶盖的上端固定连通有输送管,所述搅拌桶盖的上端并且在输送管的侧面左右对称设有电机安装座,所述集料仓的上端固定连通有均布排列的配料阀安装座。

5、优选的,所述搅拌组件包括电机安装座上端固定安装的搅拌电机,所述搅拌电机主轴的下端固定连接有搅拌主轴,所述搅拌主轴的外侧固定连接有环向均布排列的搅拌杆,且左右两侧搅拌主轴外侧的搅拌杆呈交错排列 。

6、优选的,所述配料组件包括配料桶,且在配料桶的上端扣设有配料桶上盖,所述配料桶的下端固定安装有配料阀,所述配料阀与配料阀安装座相固定连通。

7、优选的,所述回收组件包括出料口下端固定安装的放料阀,且在放料阀的下端固定安装有回收料桶。

8、与现有技术相比,本技术的有益效果是:本技术结构设置合理,功能性强,具有以下优点:

9、1.本技术中,搅拌桶盖上端左右两侧的搅拌电机同步对向或背向旋转,并且左右两侧搅拌主轴外侧的搅拌杆交错排列,提高搅拌效率与搅拌质量;

10、2.本技术中,通过配料组件配料,配料在搅拌桶组件内汇聚,通过搅拌组件进行搅拌,通过回收组件进行回收,整个架构从上到下整体结构较为紧凑,配料输送距离端,配送效率高,进一步提高去胶液的制备效率。

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【技术保护点】

1.一种去胶液用混合搅拌装置,包括搅拌桶组件(1),其特征在于:所述搅拌桶组件(1)包括搅拌桶体(101)与搅拌桶体(101)上端扣设的搅拌桶盖(103),所述搅拌桶组件(1)的中间设有搅拌组件(2),且在搅拌桶组件(1)的上端设有配料组件(3),所述搅拌桶组件(1)的下端设有回收组件(4)。

2.根据权利要求1所述的一种去胶液用混合搅拌装置,其特征在于:所述搅拌桶体(101)上端的外侧环向设有连接法兰I(102),所述搅拌桶盖(103)的下端环向设有连接法兰II(104),所述连接法兰I(102)与连接法兰II(104)通过螺栓相固定连接,所述搅拌桶体(101)的下端向下固定连通有出料口(105),所述搅拌桶体(101)下端的外侧固定设有支撑柱I(106),所述支撑柱I(106)的内侧并且在搅拌桶体(101)的下端环向固定安装有超声波振子(107)。

3.根据权利要求2所述的一种去胶液用混合搅拌装置,其特征在于:所述搅拌桶盖(103)的上端设有集料仓(108),且在集料仓(108)下端面的外侧与搅拌桶盖(103)的上端之间环向固定连接有支撑柱II(109),由集料仓(108)的下端向搅拌桶盖(103)的上端固定连通有输送管(110),所述搅拌桶盖(103)的上端并且在输送管(110)的侧面左右对称设有电机安装座(111),所述集料仓(108)的上端固定连通有均布排列的配料阀安装座(112)。

4.根据权利要求3所述的一种去胶液用混合搅拌装置,其特征在于:所述搅拌组件(2)包括电机安装座(111)上端固定安装的搅拌电机(201),所述搅拌电机(201)主轴的下端固定连接有搅拌主轴(202),所述搅拌主轴(202)的外侧固定连接有环向均布排列的搅拌杆(203),且左右两侧搅拌主轴(202)外侧的搅拌杆(203)呈交错排列。

5.根据权利要求3所述的一种去胶液用混合搅拌装置,其特征在于:所述配料组件(3)包括配料桶(301),且在配料桶(301)的上端扣设有配料桶上盖(302),所述配料桶(301)的下端固定安装有配料阀(303),所述配料阀(303)与配料阀安装座(112)相固定连通。

6.根据权利要求2所述的一种去胶液用混合搅拌装置,其特征在于:所述回收组件(4)包括出料口(105)下端固定安装的放料阀(401),且在放料阀(401)的下端固定安装有回收料桶(402)。

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【技术特征摘要】

1.一种去胶液用混合搅拌装置,包括搅拌桶组件(1),其特征在于:所述搅拌桶组件(1)包括搅拌桶体(101)与搅拌桶体(101)上端扣设的搅拌桶盖(103),所述搅拌桶组件(1)的中间设有搅拌组件(2),且在搅拌桶组件(1)的上端设有配料组件(3),所述搅拌桶组件(1)的下端设有回收组件(4)。

2.根据权利要求1所述的一种去胶液用混合搅拌装置,其特征在于:所述搅拌桶体(101)上端的外侧环向设有连接法兰i(102),所述搅拌桶盖(103)的下端环向设有连接法兰ii(104),所述连接法兰i(102)与连接法兰ii(104)通过螺栓相固定连接,所述搅拌桶体(101)的下端向下固定连通有出料口(105),所述搅拌桶体(101)下端的外侧固定设有支撑柱i(106),所述支撑柱i(106)的内侧并且在搅拌桶体(101)的下端环向固定安装有超声波振子(107)。

3.根据权利要求2所述的一种去胶液用混合搅拌装置,其特征在于:所述搅拌桶盖(103)的上端设有集料仓(108),且在集料仓(108)下端面的外侧与搅拌桶盖(103)的上端之间环向固定连接有支撑柱ii(109),由集料仓(108)的下端向搅拌桶盖...

【专利技术属性】
技术研发人员:何珂戈烨铭
申请(专利权)人:江阴润玛电子材料股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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