蚀刻液制备装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提出蚀刻液制备装置，包括混配釜体，所述混配釜体顶部密封配合有釜盖，釜盖中部转接有第一转轴，且第一转轴上设有若干对呈水平横向设置的第一搅拌杆，混配釜体的底部转接有第二转轴，第二转轴上端连接有U型搅拌杆，U型搅拌杆的两侧支架设有若干对水平向内延伸的第二搅拌杆，本实用新型专利技术在电动机的工作下，由第二皮带轮通过齿形皮带带动第一转轴上端所设的第一皮带轮，从而驱使第一转轴底部的多对第一搅拌杆进行正方向旋转搅拌，同时第一转轴上端所设的第一齿轮与第二齿轮进行啮合传动，在齿轮固定架的牵引下，带动U型搅拌杆进行逆方向旋转，且若干对第二搅拌杆与若干对第一搅拌杆呈相互交错设置，大大提高了对原液的搅拌效率。搅拌效率。搅拌效率。

【技术实现步骤摘要】
蚀刻液制备装置


[0001]本技术涉及蚀刻液制备
，尤其涉及蚀刻液制备装置。

技术介绍

[0002]体硅加工技术一般是指利用蚀刻工艺对块状硅进行准三维结构的微加工，其中体硅的各项异性腐蚀技术是微机械加工技术工艺主要技术之一。例如申请号为CN202111369309.4公开了一种集成电路用的硅蚀刻液及其制备方法，该制备方法按比例向混配釜中加入四甲基氢氧化铵，转速100
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200r/min搅拌条件下，按比例加入氢氧化钾、催化剂、助剂、金属捕集剂、表面活性剂和去离子水，搅拌混合25
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35min后，得到集成电路用的硅蚀刻液。在传统混配釜配备时，如申请号为CN202121245811.X公开了一种半导体用高选择比硅蚀刻液的制备装置，通过搅拌装置的搅拌，但是对液态原料的加入混合效率一般，充分混合时需要较长的时长，加工效率低。

技术实现思路

[0003]为了解决上述问题，本技术提出蚀刻液制备装置，以更加确切地解决上述所述问题。
[0004]本技术通过以下技术方案实现的：
[0005]本技术提出蚀刻液制备装置，包括混配釜体，所述混配釜体顶部密封配合有釜盖，混配釜体的顶部一侧设有进料斗，混配釜体的底部一侧设有排料接口，所述釜盖中部转接有第一转轴，第一转轴底部垂直延伸至混配釜体内部，且第一转轴上设有若干对呈水平横向设置的第一搅拌杆，所述混配釜体的底部转接有第二转轴，第二转轴顶部延伸至混配釜体内腔底部，且第二转轴上端连接有U型搅拌杆，U型搅拌杆的两侧支架设有若干对水平向内延伸的第二搅拌杆，且若干对第二搅拌杆与若干对第一搅拌杆呈相互交错设置，所述釜盖的顶部设有驱动机支架，驱动机支架上一侧设有电动机，电动机的输出轴端垂直向下，且电动机的输出轴端设有第二皮带轮，第一转轴的顶部设有第一皮带轮，且第一皮带轮与第二皮带轮之间通过齿形皮带连接，所述第一转轴的中部上固定有第一齿轮，U型搅拌杆的一侧支杆上端固定有向内延伸的齿轮固定架，齿轮固定架内端固定有第二齿轮，且第二齿轮与第一齿轮传动啮合。
[0006]进一步的，所述第二转轴上端设有转接座，且第一转轴底端与转接座相转接。
[0007]进一步的，所述第一转轴为空心轴体，第一搅拌杆与第一转轴内通道相连通的空心管体，所述第二转轴为空心轴体，U型搅拌杆为与第二转轴相连通的空心管体，第二搅拌杆为与U型搅拌杆连通的空心管体，且第一搅拌杆、第二搅拌杆上均设有若干个喷嘴。
[0008]进一步的，所述第一搅拌杆、第二搅拌杆上所设的喷嘴呈相对设置，且喷嘴为单向喷嘴。
[0009]进一步的，所述第一转轴的顶端连接有第一水密转接头，且第一水密转接头的上端连接第一液泵的进液接口，所述第二转轴的底端连接有第二水密转接头，且第二水密转
接头的底端连接第二液泵的进液接口。
[0010]进一步的，所述第一转轴的中部上固定有护罩，护罩罩设于第一齿轮、第二齿轮外部，所述进料斗的内端延伸至护罩上方，且护罩的上表面设有多片导料肋片，多片导料肋片沿护罩的中心呈环形阵列设置。
[0011]本技术的有益效果：
[0012]1、本技术在电动机的工作下，由第二皮带轮通过齿形皮带带动第一转轴上端所设的第一皮带轮，从而驱使第一转轴底部的多对第一搅拌杆进行正方向旋转搅拌，同时第一转轴上端所设的第一齿轮与第二齿轮进行啮合传动，在齿轮固定架的牵引下，带动U型搅拌杆进行逆方向旋转，且若干对第二搅拌杆与若干对第一搅拌杆呈相互交错设置，大大提高了对原液的搅拌效率；
[0013]2、本技术在第一液泵的工作下，能够将第一制备原液充入第一转轴内部，且由第一搅拌杆上所设的喷嘴喷出加料，在第二液泵的工作下，能够将第二制备原液充入第二转轴和U型搅拌杆内部，且由第一搅拌杆上所设的喷嘴喷出加料，第一搅拌杆、第二搅拌杆上所设的喷嘴呈相对设置，在第一搅拌杆与第二搅拌杆交错旋转时，能够形成对冲，提高搅拌效率。
附图说明
[0014]图1为本技术的第一立体结构半剖视图；
[0015]图2为本技术的立体结构整体示意图；
[0016]图3为本技术的第二立体结构半剖视图；
[0017]图4为本技术结构的正剖视图。
[0018]图中：1、混配釜体；101、釜盖；102、进料斗；103、排料接口；104、驱动机支架；2、第一转轴；201、第一搅拌杆；202、第二转轴；203、U型搅拌杆；204、第二搅拌杆；205、喷嘴；206、转接座；207、第一水密转接头；208、第二水密转接头；3、电动机；301、第一皮带轮；302、第二皮带轮；303、齿形皮带；4、第一液泵；401、第二液泵；5、第一齿轮；501、齿轮固定架；502、第二齿轮；6、护罩；601、导料肋片。
具体实施方式
[0019]为了更加清楚完整的说明本技术的技术方案，下面结合附图对本技术作进一步说明。
[0020]请参考图1
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图4，本技术提出蚀刻液制备装置，包括混配釜体1，混配釜体1顶部密封配合有釜盖101，混配釜体1的顶部一侧设有进料斗102，混配釜体1的底部一侧设有排料接口103，釜盖101中部转接有第一转轴2，第一转轴2底部垂直延伸至混配釜体1内部，且第一转轴2上设有若干对呈水平横向设置的第一搅拌杆201，混配釜体1的底部转接有第二转轴202，第二转轴202顶部延伸至混配釜体1内腔底部，且第二转轴202上端连接有U型搅拌杆203，U型搅拌杆203的两侧支架设有若干对水平向内延伸的第二搅拌杆204，釜盖101的顶部设有驱动机支架104，驱动机支架104上一侧设有电动机3，电动机3的输出轴端垂直向下，且电动机3的输出轴端设有第二皮带轮302，第一转轴2的顶部设有第一皮带轮301，且第一皮带轮301与第二皮带轮302之间通过齿形皮带303连接，第一转轴2的中部上固定有第一
齿轮5，U型搅拌杆203的一侧支杆上端固定有向内延伸的齿轮固定架501，齿轮固定架501内端固定有第二齿轮502，且第二齿轮502与第一齿轮5传动啮合，第二转轴202上端设有转接座206，且第一转轴2底端与转接座206相转接，用于联接第一转轴2与混配釜体1之间的结构，提高搅拌稳定性，具体工作时，结合图3和图4所示，在电动机3的工作下，由第二皮带轮302通过齿形皮带303带动第一转轴2上端所设的第一皮带轮301，从而驱使第一转轴2底部的多对第一搅拌杆201进行正方向旋转搅拌，同时第一转轴2上端所设的第一齿轮5与第二齿轮502进行啮合传动，在齿轮固定架501的牵引下，带动U型搅拌杆203进行逆方向旋转，且若干对第二搅拌杆204与若干对第一搅拌杆201呈相互交错设置，大大提高了对原液的搅拌效率。
[0021]结合图3和图4所示，第一转轴2为空心轴体，第一搅拌杆201与第一转轴2内通道相连通的空心管体，第二转轴202为空心轴体，U型搅拌杆203为与第二转轴202相连通的空心管体，第二搅拌杆204为与U型本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.蚀刻液制备装置，包括混配釜体(1)，其特征在于，所述混配釜体(1)顶部密封配合有釜盖(101)，混配釜体(1)的顶部一侧设有进料斗(102)，混配釜体(1)的底部一侧设有排料接口(103)，所述釜盖(101)中部转接有第一转轴(2)，第一转轴(2)底部垂直延伸至混配釜体(1)内部，且第一转轴(2)上设有若干对呈水平横向设置的第一搅拌杆(201)，所述混配釜体(1)的底部转接有第二转轴(202)，第二转轴(202)顶部延伸至混配釜体(1)内腔底部，且第二转轴(202)上端连接有U型搅拌杆(203)，U型搅拌杆(203)的两侧支架设有若干对水平向内延伸的第二搅拌杆(204)，且若干对第二搅拌杆(204)与若干对第一搅拌杆(201)呈相互交错设置，所述釜盖(101)的顶部设有驱动机支架(104)，驱动机支架(104)上一侧设有电动机(3)，电动机(3)的输出轴端垂直向下，且电动机(3)的输出轴端设有第二皮带轮(302)，第一转轴(2)的顶部设有第一皮带轮(301)，且第一皮带轮(301)与第二皮带轮(302)之间通过齿形皮带(303)连接，所述第一转轴(2)的中部上固定有第一齿轮(5)，U型搅拌杆(203)的一侧支杆上端固定有向内延伸的齿轮固定架(501)，齿轮固定架(501)内端固定有第二齿轮(502)，且第二齿轮(502)与第一齿轮(5)传动啮合。2.根据权利要求1所述的蚀刻液制备装置，其特征在于，所述第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：何珂，戈烨铭，
申请(专利权)人：江阴润玛电子材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：