一种固体电解质CO2气体传感器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种固体电解质CO2气体传感器，包括固体电解质基板，在固体电解质基板的一侧的表面上与固体电解质基板相接依次设置的导电膜、SiO2绝缘层，以及设置在固体电解质基板的另一侧的表面上的加热部，在所述SiO2绝缘保护层上沉积有LaF3固体电解质薄膜，所述LaF3固体电解质薄膜上凸出设置有两个Pt导电薄膜，在所述两个Pt导电薄膜上分别形成有反应电极和参比电极。本实用新型专利技术采用LaF3固体电解质薄膜，传感器可以在常温下爱对气体进行检测，省去了传统的预热过程，响应速度提高。在所述反应电极的表面覆盖有用于除去气氛中的水分的氧化铝，既可以维持高的检测灵敏度和检测电极的检测强度，又能可以充分防止结露。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及化学气体传感器
，具体涉及一种固体电解质CO2气体传感器。
技术介绍
固体电解质气体传感器是一种以离子导体为电解质的化学电池。20世纪70年代开始，固体电解质气体传感器由于电导率高、灵敏度和选择性好，获得了迅速的发展，现在几乎应用于环保、节能、矿业、汽车工业等各个领域，其产量大、应用广。固体电解质气体传感器使用固体电解质气敏材料做气敏元件。其原理是气敏材料在接触待检测气体时产生离子，从而形成电动势，测量电动势从而测量气体浓度。常见的固体电解质有Y2O3-ZrO2(YSZ)、Li3P04、NASIC0N 等。目前CO2常规固定电解质气体传感器已取得很大发展，市场上已有通过传统加工方式制备的CO2传感器产品，这些传感器产品采用了传统的加工工艺如烧结、粘结等把固定电解质、电极、加热器等基层在一起，这使得传感器存在体积大、功率大、稳定性差和一致性不佳等问题。另外，现有的固定电解质制备的电位型CO2传感器，其电解质均需要在高温下才能工作。中国技术CN 202421118 U公布了一种用来检测CO2气体浓度的气体传感器芯片，包括玻璃基底，在玻璃基底上采用微电子工艺加工有加热电极本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种固体电解质CO2气体传感器，包括固体电解质基板，在固体电解质基板的一侧的表面上与固体电解质基板相接依次设置的导电膜、SiO2绝缘层，以及设置在固体电解质基板的另一侧的表面上的加热部，在所述SiO2绝缘层上沉积有LaF3固体电解质薄膜，所述LaF3固体电解质薄膜上凸出设置有两个Pt导电薄膜，在所述两个Pt导电薄膜上分别形成有反应电极和参比电极。

【技术特征摘要】
1.一种固体电解质CO2气体传感器,包括固体电解质基板,在固体电解质基板的一侧的表面上与固体电解质基板相接依次设置的导电膜、SiO2绝缘层，以及设置在固体电解质基板的另一侧的表面上的加热部，在所述SiO2绝缘层上沉积有LaF3固体电解质薄膜，所述LaF3固体电解质薄膜上凸出设置有两个Pt导电薄膜，在所述两个Pt导电薄膜上分别形成有反应电极和参比电...

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：广东卓耐普智能技术股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：