一种基于液晶包层聚合物光波导的可调光衰减器制造技术

本发明专利技术公开了一种基于液晶包层聚合物光波导的可调光衰减器。本发明专利技术包括硅衬底、下电极、二氧化硅下包层、聚合物光波导芯层、液晶下定向层、液晶间隔物层、液晶层、液晶上定向层、上电极。在无外加电压的情况下，传输光在聚合物光波导芯层中低损耗传输，当外加电压逐渐增大时，液晶层的折射率逐渐增大，传输光逐渐扩散到作为波导包层的液晶层中去，不再作为导模传输，损耗增大，进而实现可调光衰减器功能。本发明专利技术提出的基于液晶包层聚合物光波导的可调光衰减器具有结构紧凑，制作方法简便，且波长不敏感，工作带宽大的特点，满足光通信、集成光学等领域的实用要求。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于光电子器件领域，具体涉及一种基于液晶包层聚合物光波导的可调光衰减器。
技术介绍
可调光衰减器(Variable Optical Attenuator, V0A)是光通信系统中不可或缺的关键器件。VOA的主要功能是用来减低光信号或者平衡通道间光功率的差异。特别是随着密集波分复用(DWDM)技术和EDFA在光通信系统中的应用，在多个光信号传输通道上必须进行增益平坦化或者信道功率均衡，在光接收器端要进行动态饱和的控制，这些都使得VOA成为其中不可或缺的关键器件。VOA已成为构成动态信道均衡器(DCE)、可调功率光复用器(VMUX)、光分插复用器(OADM)等光器件的核心部件。目前常见的VOA技术包括机械式VOA技术、MEMS技术及集成光波导技术等。机械式VOA是较为传统的解决方案，到目前为止，已经在系统中应用的VOA大多是采用机械方式来实现的。这类光衰减器具有工艺成熟、光学特性好、低损耗、偏振相关损耗小、无需温控等优点，但其缺点在于体积较大、组件多且结构复杂、响应速度不高且不利于与其它器件实现集成。利用MEMS技术，可以减小器件的尺寸，但是MEMS的机械磨损较大，而且调制速本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于液晶包层聚合物光波导的可调光衰减器，其特征在于包括硅衬底、下电极、二氧化硅下包层、聚合物光波导芯层、液晶下定向层、液晶间隔物层、液晶层、液晶上定向层、上电极;硅衬底为重掺杂的硅材料，电导率达到2×10?2Ω·cm以上；硅衬底正上方利用化学气相沉积生长7～10μm厚的二氧化硅下包层，其折射率为1.45；硅衬底正下方利用化学电镀方式电镀有一层金属镍，该层金属镍作为下电极，且下电极的厚度为300nm～1μm;二氧化硅下包层的上表面通过干法刻蚀得到宽3?μm，厚2.5?μm的凹槽，然后通过旋涂匀胶将芯层聚合物材料嵌入二氧化硅包层上表面的凹槽中，从而形成聚合物光波导芯层；所述的二氧化硅下包层、聚...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：时尧成，蔡涛，刘清坤，何赛灵，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：发明
国别省市：