【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于光伏玻璃工艺设备领域，具体涉及一种PECVD沈积设备加热器均温板固定装置。
技术介绍
通常PECVD沈积设备内置加热器均温板组件是使用螺丝等锁固扣件固定于加热器框架上，但由于加热器发热后，均温板承受一定程度的热源，同时随着时间变化会产生不同程度的帐缩，致使均温板尺寸发生变化，若使用螺丝锁固方式固定，均温板会因锁固而无法自由变形而产生不同程度的板内变形无法保持平整度，当温度下降后并无法回复，导致永久变形产生，影像均温板均匀散热的目的。
技术实现思路
综上所述，为了克服现有技术不足，本专利技术的主要目的在于提供一种PECVD沈积设备加热器均温板固定装置，它利用等高柱本体上车削固定凹槽以放置均温板，使均温板有自由的空间产生因热源而发生的尺寸上的变化，解决了因锁固方式无法自由膨胀而致使均温板表面平整度发生永久变形的现象。本专利技术一种PECVD沈积设备加热器均温板固定装置具有以下优点: 1.本专利技术利用等高柱车削凹槽方式固定加热器均温板，保证均温板表面平整度 2.本专利技术结构简单，拆卸快速。附图说明图1系为本专利技术结构示意图。主要组件符号说明 1....
【技术保护点】
一种PECVD沈积设备加热器均温板固定装置，其包括等高柱本体及凹槽组成。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：周文彬，刘幼海，刘吉人，
申请(专利权)人：吉富新能源科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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