一种用于湿法成型制备ITO靶材生坯的脱模及转移装置制造方法及图纸

技术编号:8890926 阅读:289 留言:0更新日期:2013-07-07 00:31
本实用新型专利技术涉及一种用于湿法成型制备ITO靶材生坯的脱模及转移装置,包括支撑底板,支撑底板下端通过双头螺栓与纵向排列的三组共九个柔性吸盘体内的连接柱相连,柔性吸盘体通过气管相互连通,气管经三通接头与真空发生器相连,支撑底板上端设有四个呈正方形四个顶角用于将整个支撑底板向上提起脱模的吊环。具有结构简单,操作方便,脱模效率高,良品率高的特点。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术属于陶瓷成型
,涉及一种适用于湿法成型生产ITO陶瓷靶材中生坯的用于湿法成型制备ITO靶材生坯的脱模及转移装置
技术介绍
ITO靶材的成型方法分为模压成型和湿法成型两种。近年来,随着平板显示器尺寸的逐渐增大,要求ITO靶材向着大型化方向发展。模压法的技术门槛低,生产周期短,操作简单,但存在压机及模具成本高,特别是大尺寸成型时,生坯易产生密度不均匀、翘曲和裂纹等缺陷,增加了产品的报废率。湿法成型则能够很好的解决了这些问题,成为近年来的靶材成型工艺研究的重点。专利文献CN 101890752是关于涉及制备生坯和ITO靶材单面吸水的注浆成型用的模具及其使用方法;CN12229067A是关于使用过滤式成型模制备陶瓷烧结体的制造方法。这些专利都提到了湿法成型制备ITO坯体,但都没有提及脱模方法的技巧与装置。专利文献CN201841592提到了一种平面陶瓷靶材模压成型脱模装置,在与成型压机的配合使用下,省去了脱模时需要人工翻转模具的步骤。在湿法制备大尺寸靶材时,在外力作用下脱模时,由于外力施加不均匀,易造成生坯掉边、掉角、表面凹坑、微裂纹,甚至撕断等问题。技术内容为了克服现有技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于湿法成型制备ITO靶材生坯的脱模及转移装置,包括支撑底板,支撑底板下端通过双头螺栓与纵向排列的三组共九个柔性吸盘体内的连接柱相连,柔性吸盘体通过气管相互连通,气管经三通接头与真空发生器相连,支撑底板上端设有四个呈正方形四个顶角用于将整个支撑底板向上提起脱模的吊环。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:周贤界郑子涛曾令俊周理卿刘守聪邹智明
申请(专利权)人:韶关西格玛技术有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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