【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种低密度靶材包装装置,其特征在于:包括大真空包装袋(1)、若干个小真空包装袋(2)和塑型定位器具(3),所述小真空包装袋(2)用于真空包装单个低密度陶瓷靶材,所述各个小真空包装袋(2)均排列置于所述大真空包装袋(1)内,大真空包装袋(1)置于所述塑型定位器具(3)内。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:周贤界,郑子涛,陈常青,余永强,刘守聪,
申请(专利权)人:韶关西格玛技术有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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