一种用于磨削和刨削基片的组合机床制造技术

本发明专利技术涉及一种磨削机床，其包括至少一个呈平行六面体箱体（１２）形式的基本单元（１０），带有第一载运和卸载表面（１４）；第二对置的平行表面（１６）用于进入位于中间部分（２４）的工作区；以及第三和第四表面（１８、２０）。载运台（４８）和卸物台（５６）分别由载运臂（５０）和卸载臂（５８）支承，它们相互独立操作，且接近第一表面（１４）侧。机构（２８、３０）位于箱体（１２）的中间部分（２４）的下部分，而自动机安排在上部分，机构和自动机安置在第二表面（１６）侧。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

技术介绍
本专利技术涉及一种用来磨削和刨削基片的机床，所述机床包括至少一个可转动的磨削盘，所述基片置于磨削盘上被磨削；一个可移动的磨削头，所述磨削头在一个升高的位置和一个降低的位置之间移动，并且其上布置有一个用来支撑基片的支撑元件；一个可转动的磨削臂，所述磨削臂可移动磨削头而从载运台上拣取将被磨削的基片，并且将磨削后的基片送到卸物台上；至少一个用来驱动磨削盘及驱动转动的磨削头的支撑元件的机构，所述机构用来改变磨削臂及载运台和卸物台的运动；一个在磨削过程中用来控制上述机构的控制器。现有技术描述文献EP-A774，323描述了一种上面提到的磨床，该磨床利用一种旋转机构将基片移动到具有预定数量的工作台的磨削台上。所述旋转机构位于工作区且在磨削台之上。这样，在磨削过程中就产生了污染基片的危险。在一给定的工作台上进行保养或更换器具时，整个生产过程不得不停止运行。这种旋转机构是不可伸缩的。文献JP63，207，559描述了一种用来磨削基片的组合机床，所述基片放置在盒子中并通过一个载运单元从中取出，所述载运单元通过一个传送单元将所述基片输送到两个磨削单元上。在磨削之后，将基片固定到一个清洗单元的台面上，在基片清洁之后，它就被储存到卸物单元的盒子中。文献US-A-4，6380，893描述了一种用来磨削半导体基片的机床，这种机床具有一种通用的非组合式结构且配置有转动磨削臂，所述转动磨削臂在载运台、清洁台、第一磨削台、第二磨削台和卸载台之间进行角运动。专利技术目的本专利技术的第一个目的为提供一种组合式磨床，所述的磨床可较容易地安全进入工作区。本专利技术的第二个目的为提供一种结构可变化的多工作台磨床，所述磨床尽可能利用最大数量的标准元件。根据本专利技术的磨床的特征在于，该磨床包括至少一个呈平行六面体箱体形式的基本单元，所述平行六面体箱体具有一个第一载运和卸载表面，一个用来进入位于中间隔室中的工作区相对平行的第二表面，第三和第四表面，所述第三和第四表面包括与所述的第一和第二表面相垂直延伸的固体横壁；分别由一根载运臂和卸载臂支撑的载运台和卸物台，载运臂和卸载臂的运行是相互独立的，载运台和卸物台均接近于第一表面所在的一侧；一个位于箱体的中部隔室下面的底部隔室中的机构，而基本单元的控制器位于上面的隔室中，所述机构接近于第二表面所在的一侧。根据本专利技术的一个特征，所述磨削臂和卸载臂可转动地装配在第一垂直轴的周围。基本单元包括一个可转动的调节头，所述调节头由一根调节臂支撑，调节臂可转动地装配有载运臂上，载运臂围绕与所述的第一轴平行的第二垂直轴。根据本专利技术的一个优选实施例，在两根垂直轴之间及在磨削盘和箱体的第一表面之间布置有一个清洁台，从而在进行基片的处理时就确定了磨削头的一个清洁位置、载运台和卸物台及磨削头的同心位置。所述机构包括一个位于底部隔室中的齿轮马达，所述齿轮马达耦合到一根在第一轴方向上延伸的转动轴上，所述转动轴驱动一个滑轮和一个位于磨削臂中的皮带驱动传动装置而使磨削头进行转动。所述转动轴在一根管状柱中伸展，管状柱牢固地结合到磨削臂上并结合到一根操作杆上，所述操作杆由一个第一动力油缸控制而使磨削臂在清洁台和磨削盘之间进行转动。卸载臂牢固地结合到一个轴套上，所述轴套同轴地安装在具有管状壳的柱子周围，所述管状壳插在两个轴套和管状柱之间，所述的两个轴承布置在轴套和管状壳之间，而使卸载臂相对于磨削臂进行转动。由第二动力油缸控制的一根操作杆牢固地结合到轴套上而使卸载臂进行角运动。本专利技术利用了一种相似的机构来驱动调节臂和载运臂。根据使用者的要求而定型的整个机床可具有不同的结构利用手工加载的单个磨削组件；配备有一个载运组件和一个卸载组件的单个磨削组件，所述的单个磨削组件可在一个完整的平板盒中以自动的模式进行工作；两个或多个并置的磨削组件，在每个组件之间布置有平板盒移动装置，所述磨削组件在构成设备组件的不同的工作台上执行一系列的磨削工艺。所述设备组件可装配将基片从盒子中取出及将基片卸载入盒子中的载运组件和卸载组件，这样就构成了一个自动系统；两个或多个并置的具有载运系统的磨削组件，通过自动装置将磨削组件连接到一个集于中心的载运/卸载/传送组件上。这种结构可使部件在不同的磨削组件之间采取任何类型的路线。每个磨削组件根据给定的基本工艺过程而定型，机床控制系统根据由使用者确定的连续的磨削(和测量，如果需要的话)步骤来组织由平板盒体所采取的路线。对于几种不同的磨削组件可采用相同的基本磨削步骤来优化机床的总体生产率。所构造的磨削组件在磨削区内无任何的机械部件，从而减小了污染的危险。附图简要描述通过下面对本专利技术实施例的描述，本专利技术的其他优点和特点将会变得更加明确，所给出的本专利技术的实施例为非限制性的例子，用下面的附图来显示。附图说明图1所示为根据本专利技术的磨床的基本单元的平面示意图；图2所示为根据图1中的箭头所做的视图；图3所示为图1中的具有单个的载运及卸载组件的基本单元的示意图；图4所示为图3中所示的结构的另一个选择实施例；图5所示为沿着图1中的5-5线所做的放大剖视图；图6和图7显示了具有两个基本单元和一个传送组件的设备组件，其中的传送组件分别进行滑动和转动；图8所示为一个具有由自动装置控制的四个线性排列单元的多工作台设备组件；图9所示为图8中所示的设备组件的另一个可选择的实施例；图10所示为沿图8中的箭头10所做的视图。优选实施例描述在图1和图2中，用来磨削和刨削基片的机床的基本单元10包括一个平行六面体箱体12，所述平行六面体箱体12具有第一载运和卸载表面14；一个与所述第一表面相对且平行的第二表面16，所述第二表面用来进入工作区和控制区；由与所述第一和第二表面14、16垂直且不可达到的固体壁形成的第三和第四表面18、20。箱体12的内部分成三个叠加的隔室22、24、26，箱体12包括有一个底部隔室22、一个中间工作隔室24和一个顶部隔室26，底部隔室22中装有驱动机构28、30，顶部隔室26中包含有一个用来控制和监视基本单元10的运行循环的控制器34。从第二表面16通过一个门36是很容易进入工作隔室24的。工作室24中包括一个可转动的磨削盘38，所述磨削盘38的上表面上布置有一层薄的织物用来接收磨蚀液体。织物是聚氨脂基的，但是任何的其他材料均可用来吸收磨蚀液体。上面提到的磨削盘38为圆形的，结构中布置了一个具有支撑元件42的磨削头40，所述支撑元件42用来将一个基片放置到磨削盘38上。磨削头40由磨削臂44支撑，磨削臂44以预定的角度偏移量转动装配在第一垂直轴46上。基片支撑元件42通过一个皮带驱动传动装置43的作用而进行转动，所述皮带驱动传动装置43整体地布置在臂44中，在下面的内容中，参考图5将对其进行进一步的详细描述。可驱动磨削头40在一个升高的位置和一个降低的位置之间的箭头F1所示的方向上进行垂直的移动。在升高的位置处，所述基片不与所述的磨削盘38相接触(图2所示的情况)。磨削头40向降低的位置的运动是通过气压或液压控制(图中未显示)的方式来达到的，所述的气压或液压装置是由底部隔室22中的能量储存装置32来操纵的。在所述的降低的位置，基片抵压在磨削盘38上，根据控制器34中记录的参数进行磨削。基片通过载运台48输送到磨削头40上，载运台48支撑在一个本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于磨削和刨削基片的机床，所述机床包括：至少一个转动磨削盘（３８），基片置于所述磨削盘上而被磨削；一个可移动的磨削头（４０），所述磨削头（４０）在一个升高的位置和一个降低的位置之间移动，并且其上布置有一个用来支撑基片的支撑部件（４２）；一个可转动的磨削臂（４４），所述磨削臂（４４）可移动磨削头（４０），以从载运台（４８）上拣取将要被磨削的基片，并且在基片被磨削后将其送入卸物台（５６）上；至少一个用来驱动磨削盘（３８）及磨削头（４０）的支撑元件（４２）的机构（２８，３０），所述机构用于磨削臂（４４）及载运台（４８）和卸物台（５６）的交替运动；一个在磨削过程中用来控制机构（２８，３０）的控制器（３４）；其特征在于：该机床包括至少一个呈平行六面体箱体（１２）形式的基本单元（１０，１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ），平行六面体箱体（１２）具有一个第一载运和卸载表面（１４），一个用来进入位于中间隔室（２４）中的工作区的相对平行的第二表面（１６），以及第三和第四表面（１８，２０），所述第三和第四表面（１８，２０）包括与所述的第一和第二表面（１４，１６）相垂直延伸的固体横壁；载运台（４８）和卸物台（５６）分别由一根载运臂（５０）和卸载臂（５８）支撑，载运臂（５０）和卸载臂（５８）的运行是相互独立的，所述载运台（４８）和卸物台（５６）均接近于第一表面（１４）所在的一侧；所述机构（２８，３０）位于箱体（１２）的中部隔室（２４）下面的底部隔室（２２）中，而基本单元（１０）的控制器（３４）位于上面的隔室（２６）中，所述机构（２８，３０）接近于第二表面（１６）所在的一侧。...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：马克佩尔蒂埃，卢西恩格里塞尔，
申请(专利权)人：马特森韦特产品公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]