【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于加速度传感器
,具体涉及一种娃微谐振加速度传感器。
技术介绍
现有的硅微谐振加速度传感器具有灵敏度较低的不足。
技术实现思路
为了克服上述现有技术的缺点，本专利技术的目的在于提供一种硅微谐振加速度传感器，具有温度稳定性好、高灵敏高的优点。为了达到上述目的，本专利技术采取的技术方案为:一种硅微谐振加速度传感器，包括质量块3，质量块3四个边的中心处设置有谐振梁I和支撑梁2，谐振梁I设在支撑梁2上，谐振梁1、支撑梁2、质量块3是以单晶硅片为基板4的经微加工成型的一个整体。本专利技术具有灵敏闻的优点。附图说明附图为本专利技术的结构示意图。具体实旅方式以下结合附图对本专利技术做详细描述。参照附图，一种硅微谐振加速度传感器，包括质量块3，质量块3四个边的中心处设置有谐振梁I和支撑梁2，谐振梁I设在支撑梁2上，谐振梁1、支撑梁2、质量块3是以单晶硅片为基板4的经微加工成型的一个整体。本专利技术的工作原理是:在外力作用下，质量块3在相应方向产生位移，带动两个对称的谐振梁I拉伸或收缩，两个谐振梁I内应力分别为拉应力和压应力，从而引起该方向对称的谐振梁固有频率变化，...
【技术保护点】
一种硅微谐振加速度传感器，包括质量块(3)，其特征在于：质量块(3)四个边的中心处设置有谐振梁(1)和支撑梁(2)，谐振梁(1)设在支撑梁(2)上，谐振梁(1)、支撑梁(2)、质量块(3)是以单晶硅片为基板(4)的经微加工成型的一个整体。
【技术特征摘要】
1.一种硅微谐振加速度传感器，包括质量块(3)，其特征在于:质量块(3)四个边的中心处设置有谐振梁(I)和支撑梁(2)，...
【专利技术属性】
技术研发人员：樊晓红，
申请(专利权)人：西安民生电热技术工程有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
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