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一种硅微谐振加速度传感器，包括质量块，质量块四个边的中心处设置有谐振梁和支撑梁，谐振梁设在支撑梁上，谐振梁、支撑梁、质量块是以单晶硅片为基板的经微加工成型的一个整体，在外力作用下，质量块在相应方向产生位移，带动两个对称的谐振梁拉伸或收缩，两...
该专利属于西安民生电热技术工程有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安民生电热技术工程有限责任公司授权不得商用。

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