石英振梁加速度计及其制作方法技术

本发明专利技术公开了一种石英振梁加速度计及其制作方法，该石英振梁加速度计包括石英振梁和质量-挠性结构，其中，质量-挠性结构包括通过挠性铰链相连的底座和质量块，在石英振梁两端、底座和质量块上各设焊盘，对应位置的焊盘之间通过金属合金键合装配，同时在与底座相对应的焊盘上连接激励电极；本发明专利技术的制作方法包括光刻技术、湿法腐蚀的微加工技术制作以及回流焊工艺。本发明专利技术的优点在于石英振梁加速度计具有加工精度高，焊盘位置、尺寸对应关系好，同时装配精度高、重复性好、装配工艺简单。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种石英振梁加速度计，其特征在于：包括石英振梁(1)和质量?挠性结构(2)；其中，质量?挠性结构(2)包括通过挠性铰链(3)相连的底座(4)和质量块(5)，石英振梁(1)两端各设焊盘(6)和焊盘(7)，底座(4)上设焊盘(8)，质量块(5)上设焊盘(9)，焊盘(6)、焊盘(7)通过金属合金(10)分别与焊盘(8)、焊盘(9)键合装配，同时，在焊盘(6)上连接激励电极。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：梁金星，张俪园，崔粟晋，孟广婵，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：