一种研磨液再利用装置及其系统，应用于化学机械研磨制程，该系统包含研磨液循环管路、至少一连接该研磨液循环管路的研磨液供给单元、若干个连接该研磨液循环管路的研磨液再利用装置、及若干个分别连接该研磨液再利用装置的化学机械研磨单元；该装置包括： 本体，具有连接该研磨液循环管路的研磨液入口、排气口、研磨液回收口、排废口、及连接于该化学机械研磨单元的研磨液出口； 过滤单元，设置于该本体内、并滤除由该研磨液入口导入的研磨液所含的研磨颗粒； 回收泵，一端连接该本体的该研磨液回收口、另一端连接于该研磨液循环管路；及 排废单元，分别连接该本体的该排废口及于外部处理系统，用以抛弃由该本体排出的废液； 其中，该本体具有贮存空间，容置经由该过滤单元滤除研磨颗粒后的该研磨液；该回收泵由该研磨液回收口抽回该贮存空间中已过滤的该研磨液，并传送至该研磨液循环管路，以供该制程的重复使用。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
本专利技术是关于一种研磨液再利用装置及其系统，特别是一种应用于化学机械研磨流程的研磨液再利用装置及其系统。
技术介绍
随着半导体组件线宽缩减及层数的增加，平坦化制程已是不可或缺，化学机械研磨(Chemical Machine Polishing，CMP)是目前平坦化制程的主要技术，其利用研磨垫及研磨液，进行机械移除与化学侵蚀的双重研磨，来移除晶圆表面的物质，可让产品表面达到全面性的平坦化，以利后续薄膜沉积的进行。公知化学机械研磨流程里还包括有过滤单元，是在化学机械研磨单元之前过滤该研磨液，将研磨液里所含过大的、沉淀的(settling)、或结块(agglomeration)的研磨颗粒滤除，以保持该研磨液的稳定性(stability)与连续性(consistency)，避免产品于研磨过程中被刮伤。如图1所示，是公知化学机械研磨液的流程示意图，研磨液导入过滤单元11a，滤除该研磨液中过大的研磨颗粒后，输送至化学机械研磨单元12a，对产品进行平坦化的研磨后并排出废液；当自动化生产作业进行时，该过滤单元11a不断滤除该研磨液中的研磨颗粒，以供给该化学机械研磨单元12a使用。半导体厂中为了生产作业的顺利与机台寿命的延长，会对机台定期进行「预防保养」(Prevention Maintenance，PM)，以下简称PM作业；一般而言，PM作业的程序大概包括机台(Chamber)开启、机台擦拭、零组件拆卸与擦拭、管件拆卸与擦拭、零组件及管件的浸泡与清洗、更换新零组件与机台复原。当该化学机械研磨单元12a进行PM作业时，该过滤单元11a及该化学机械研磨单元12a均需停机接受保养，是以，前次生产所留存在该过滤单元11a中已完成过滤、但尚未传送至该化学机械研磨单元12a的该研磨液，亦皆按照PM作业的一般流程而被清除处理掉。然而，PM作业时清理研磨液所造成的操作不便，亦会拉长PM作业的时间而影响产能；另外，其于实际使用上，已过滤的研磨液可以重复使用却被清除，为某一程度的资源浪费；最重要的是，清除可用研磨液另一面所代表的意义是无法符合绿色制程的环保要求。
技术实现思路
本专利技术的主要目的，在于提供一种研磨液再利用装置及其系统，在化学机械研磨制程中，能够简便进行预防保养。本专利技术的次要目的，在于提供一种研磨液再利用装置及其系统，在化学机械研磨制程中，能够提高该研磨液的使用率，避免产生资源浪费及符合环保要求。为了达成上述目的，本专利技术提供一种研磨液再利用装置及其系统，应用于化学机械研磨制程，该系统包含研磨液循环管路、至少一连接该研磨液循环管路的研磨液供给单元、若干个连接该研磨液循环管路的研磨液再利用装置、及若干个分别连接该研磨液再利用装置的化学机械研磨单元；其中该装置包括回收已过滤的研磨液的回收泵、及抛弃过滤排出的废液与废气的排废单元。采用上述装置和系统可顺利回收已过滤的该研磨液至该研磨液循环管路2，达到该研磨液再利用的目的；从而减少PM作业时清理该研磨液所造成的操作不便及时间；且，已过滤的该研磨液可以充分利用，并可达到重复使用的环保要求。为了能更进一步了解本专利技术特征及
技术实现思路
，请参阅以下有关本专利技术的详细说明与附图，然而所附图式仅提供参考与说明用，并非用来对本创加以限制。附图说明图1为公知化学机械研磨液的流程示意图；图2为本专利技术研磨液再利用装置及其系统的流程示意图；及图3为本专利技术研磨液再利用装置及其系统的结构示意图。公知化学机械研磨流程过滤单元 11a化学机械研磨单元 12a本专利技术研磨液再利用系统1研磨液循环管路 2 研磨液供给单元 3研磨液再利用装置 4 化学机械研么单元 5本体 41 研磨液入口 411研磨液回收口 412研磨液出口 413排废口 414过滤单元 42回收泵 43 排废单元 44一号阀 451二号阀 452三号阀 453排气管 46外部处理系统 4具体实施方式请参考图2所示，本专利技术提供一种研磨液再利用系统1，应用于化学机械研磨制程，该系统包含研磨液循环管路2、至少一连接该研磨液循环管路2的研磨液供给单元3、若干个连接该研磨液循环管路2的研磨液再利用装置4、及若干个分别接设于该研磨液再利用装置4的化学机械研磨单元5。本专利技术在该化学机械研磨制程中，利用研磨液供给单元3提供含有研磨颗粒的浆料(abrasive)，注入该研磨液循环管路2，通过该研磨液循环管路2可传送该研磨液至多个的该化学机械研磨单元5(如，化学机械研磨机)；同公知，该研磨液循环管路2与该化学机械研磨单元5中间，以该研磨液再利用装置4滤除该研磨液中过大的研磨颗粒；当进行PM作业时，该研磨液再利用装置4回收已过滤的该研磨液至该研磨液循环管路2，用以供应其它的该化学机械研磨单元5使用；从而减少PM作业时清理该研磨液所造成的操作不便及时间，兼顾延长机台使用寿命的效果及提高该制程产能的目的。其中，该研磨液再利用装置4具有本体41、设置于该本体41内的过滤单元42、分别连接至该化学机械研磨单元5与该本体41的回收泵43、及分别连接该本体41及外部处理系统47的排废单元。该本体41具有连接该研磨液循环管路2的研磨液入口411、连接该回收泵43的研磨液回收口412、连接于该化学机械研磨单元5的研磨液出口413、排气口(未标示)、连接该排废单元44的排废口414、及贮存空间(未标示)，容置经由该过滤单元42滤除研磨颗粒后的该研磨液，并分别将该研磨液导向该研磨液回收口412及该研磨液出口413；该回收泵43由该研磨液回收口412抽回该贮存空间中已过滤的该研磨液，并传送至该研磨液循环管路2，以供该制程的重复使用；该排废单元44还包括接设该本体41的该排气口的排气管46，当进行PM作业程序时，需更换该过滤单元42，该排气管46用以排出更换过该过滤单元42后该本体41中残留的空气。该研磨液再利用装置4还包括至少三个手动阀，分别为控制该研磨液入口411的一号阀51、该研磨液出口413的二号阀52、及该排气管46的三号阀53；这样，当更换该过滤单元42时，控制该手动阀为关闭状态，激活该回收泵43，即可顺利回收已过滤的该研磨液至该研磨液循环管路2，达到该研磨液再利用的目的；从而减少PM作业时清理该研磨液所造成的操作不便及时间；且，已过滤的该研磨液可以充分利用，并可达到重复使用的环保要求。权利要求1.一种研磨液再利用装置及其系统，应用于化学机械研磨制程，该系统包含研磨液循环管路、至少一连接该研磨液循环管路的研磨液供给单元、若干个连接该研磨液循环管路的研磨液再利用装置、及若干个分别连接该研磨液再利用装置的化学机械研磨单元；该装置包括本体，具有连接该研磨液循环管路的研磨液入口、排气口、研磨液回收口、排废口、及连接于该化学机械研磨单元的研磨液出口；过滤单元，设置于该本体内、并滤除由该研磨液入口导入的研磨液所含的研磨颗粒；回收泵，一端连接该本体的该研磨液回收口、另一端连接于该研磨液循环管路；及排废单元，分别连接该本体的该排废口及于外部处理系统，用以抛弃由该本体排出的废液；其中，该本体具有贮存空间，容置经由该过滤单元滤除研磨颗粒后的该研磨液；该回收泵由该研磨液回收口抽回该贮存空间中已过滤的该研磨液，并传送至该研磨液循环管路，以供该制程的重复使用。2.如本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王仁杰，郑宗淦，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。