有机膜形成装置以及有机膜形成方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种使有机材料附着之后，使成膜对象物静止，固化有机材料，能将有机膜成膜的有机膜形成装置以及有机膜形成方法。在真空槽（11）内配置的基板台（14）上配置成膜对象物（5），在成膜对象物（5）的表面接触配置掩模（31），冷却成膜对象物（5），将真空槽（11）内进行真空排气的同时，从掩模（31）上喷出当照射光时进行固化的光反应性材料，并使其附着于在掩模（31）的开口（34）底面露出的成膜对象物（5）的表面，在附着的部分形成光反应性材料的液状膜，在停止了真空槽（11）内的真空排气的状态下，在放射光的光照射装置（24）中，使光放射的同时，在掩模上移动，使液状膜固化，形成光反应性材料的有机膜。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及，特别是，涉及使有机材料在成膜对象物上附着之后，将其固化并形成有机膜的

技术介绍
目前，在有机EL元件的制造工序中，在基板上按顺序形成下部电极层、有机发光层、上部电极层之后，为了保护表面，防止水分的侵入，形成有作为保护膜的密封层。在专利文献I中，提出了将有机EL元件的密封层做成至少依次形成阻挡层、有机层、阻挡层的层叠膜的方案。另外，在专利文献2中，提出了具有使有机膜的有机材料堆积的处理室、固化有机材料的处理室和将无机膜进行成膜的处理室，并能将有机膜和无机膜连续地进行成膜的成膜装置。关于有机膜的成膜，提出了使成膜对象物通过有机材料堆积机构的下方并堆积了有机材料之后，使其通过固化机构的下方，将有机材料进行固化的方法。但是，当移动成膜对象物同时进行有机材料的堆积和固化时，存在移动中成膜对象物的温度进行变动，使堆积的有机材料再蒸发的问题。另外，为使成膜对象物移动，而使用了掩模的图案成膜是困难的。(现有技术文献) 专利文献 专利文献1:特开2001-307873号公报 专利文献2:特开2005-522891号公报 专利文献3:特许第4112702号公报
技术实现思路
(本专利技术所要解决的问题) 本专利技术是为了解决上述现有技术的不妥之处而创作的专利技术，其目的在于，提供一种使有机材料附着之后，使成膜对象物静止，固化有机材料，能将有机膜成膜的。(用以解决问题的技术方案) 为了解决上述课题，本专利技术为如下的一种有机膜形成装置，该有机膜形成装置形成当照射光时进行固化的光反应性材料的有机膜，其具有:真空槽；从配置于所述真空槽内的多个喷出口，喷出光反应性材料的喷淋板；至少与所述喷淋板面对的面被配置于所述真空槽内的基板台；将配置于所述基板台上的成膜对象物进行冷却的冷却装置；将配置于所述基板台上的所述成膜对象物的掩模进行保持的掩模保持装置；在所述喷淋板与所述基板台之间移动的同时，朝向所述掩模放射光的光照射装置；以及使所述喷淋板升温的加热装置。本专利技术为如下的有机膜形成装置，其具有:包围所述喷淋板与所述基板台之间的空间中接近所述基板台的部分的屏蔽板；以及加热所述屏蔽板的屏蔽板用加热装置，以朝向作为由所述屏蔽板包围的空间的成膜空间，从所述喷淋板喷出所述光反应性材料的方式来构成，将所述真空槽内进行真空排气的排气口设置在所述成膜空间的外部。另外，本专利技术为如下的有机膜形成装置，其中，所述光照射装置以从所述成膜空间的外侧，通过所述屏蔽板与所述喷淋板之间，并通过所述基板台与所述喷淋板之间的方式来构成。本专利技术为如下的一种有机膜形成方法，其为将当照射光时进行固化的光反应性材料的有机膜形成在成膜对象物的表面的有机膜形成方法，在真空槽内配置的基板台上配置所述成膜对象物，在所述成膜对象物的表面接触配置掩模，冷却所述成膜对象物，将所述真空槽内进行真空排气的同时，从所述掩模上喷出所述光反应性材料，并使其附着于在所述掩模的开口底面露出的所述成膜对象物的表面，在附着的部分形成所述光反应性材料的液状膜，在停止了所述真空槽内的真空排气的状态下，在放射光的光照射装置中，移动在所述掩模上的同时，使所述光放射，使入射到位于露出于所述开口底面的所述成膜对象物表面上的所述液状膜，并使所述液状膜固化，形成所述光反应性材料的有机膜。本专利技术为如下的有机膜形成方法，其中，以屏蔽板包围所述基板台上的空间，将由所述真空槽内的所述屏蔽板包围的成膜空间的外侧进行真空排气，加热所述屏蔽板的同时，使所述光反应性材料充满所述成膜空间。本专利技术如下的有机膜形成方法，其中，从所述光照射装置使光放射并照射所述液状膜时，停止所述真空槽内的真空排气。(专利技术效果) 由于使有机材料附着之后，使成膜对象物静止，能照射使有机材料固化的UV光，所以可防止由成膜对象物的温度的变化引起的有机材料的再蒸发，另外，使用了掩模的图案成膜成为可能。附图说明本专利技术的有机膜形成装置的内部结构用于说明掩模与成膜对象物接触的状态的用于说明光照射装置的移动中途的状态的图。具体实施例方式参照图1，附图标记10为本专利技术的有机膜形成装置，附图标记5表示通过有机膜形成装置10在表面形成有机膜的成膜对象物。该有机膜形成装置10具有:连接有真空泵12的真空槽11、配置成膜对象物5的基板台14、将气体状或者微小液滴状的任一者或两者的状态的光反应性材料与运载气体一起供给喷淋板15的原料供给装置18。喷淋板15其内部为中空，从原料供给装置18与运载气体一起供给的光反应性材料被导入至中空部分之中。喷淋板15在其一面设置有连接于中空部分的多个喷出口 16，光反应性材料从喷出口 16喷出。设置有喷出口 16的喷淋板15的面和基板台14的配置有成膜对象物5的面，位于真空槽11的内部,并以相互面对的方式被配置。当从原料供给装置18将光反应性材料与运载气体一起供给喷淋板15时，以从喷淋板15的喷出口 16朝向所述基板台14的配置成膜对象物5的面，喷出光反应性材料的气体或者微小液滴方式来构成。在真空槽11的内部，设置有屏蔽板21，在基板台14与喷淋板15之间的空间中，比喷淋板15更接近基板台14的部分被屏蔽板21包围。将由屏蔽板21包围的空间称为成膜空间22，在作为成膜空间22的外部的真空槽11的壁面，设置有排气口 13，配置于真空槽11的外部的真空泵12与该排气口 13连接，当使该真空泵12工作时，成膜空间22的外部通过真空泵12被真空排气。由于成膜空间22与真空槽11内的成膜空间22的外部的空间连接，所以成膜空间22也被真空排气。在屏蔽板21与喷淋板15之间设置有间隙。在真空槽11的内部配置有放射光的光照射装置24。光照射装置24被安装在移动装置25中，在真空槽11的内部，能将成膜空间22的外部与内部之间，通过屏蔽板21与喷淋板15之间的间隙进出，以通过成膜空间22的内部的方式来构成。此时，光照射装置24通过喷淋板15与基板台14之间。光照射装置24放射的光为紫外线(Ultra violet rays),在使丙烯酸树脂固化时，对丙烯酸树脂的原料照射使丙烯酸树脂固化的波长的光。此处，照射200nm 450nm的光。在成膜空间22中配置有掩模31。该掩模31通过掩模保持装置32与基板台14上配置的成膜对象物5的表面平行地被保持。在本实施例中，在掩模保持装置32中设置有固化用移动装置33。固化用移动装置33使掩模保持装置32与掩模31 —起移动，变更基板台14上的成膜对象物5与掩模31之间的距离，构成为能使成膜对象物5与掩模31紧贴和能使成膜对象物5与掩模31分离。固化用移动装置33，如上所述，如果变更基板台14上的成膜对象物5与掩模31之间的距离，能使成膜对象物5与掩模31紧贴，能使成膜对象物5与掩模31分离也可。总之，不限于上述结构，固化用移动装置33设置于基板台14，以使基板台14与成膜对象物5一起移动的方式构成也可，固化用移动装置33设置于基板台14与掩模保持装置32的两者中，以使基板台14与掩模保持装置32的两者分别移动的方式构成也可。掩模31为薄的金属制的板，规定的开口 34形成为一个至多个，在掩模31与成膜对象物5紧贴时，在开口 34底面，成膜对象物5的表面部分地露出。图1是在基板台14与掩模31分离的状态，从连本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：内田一也，大森大辅，宫内淳，
申请(专利权)人：株式会社爱发科，
类型：
国别省市：