蒸镀方法与蒸镀设备技术

本发明专利技术公开一种蒸镀方法与蒸镀设备。该蒸镀设备包括一腔体、至少一第一蒸镀源以及至少一第二蒸镀源。腔体具有一第一腔室、一第二腔室、一出口、一连通口、至少一第一入口与至少一第二入口。第一蒸镀源配置于第一入口，第二蒸镀源配置于第二入口。第一蒸镀源提供的一第一气体经由第一入口进入第一腔室。第二蒸镀源提供的一第二气体经由第二入口进入第一腔室，进入第一腔室的第一气体与该第二气体在第一腔室内混合后，经由连通口进入第二腔室，再经由出口离开第二腔室。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种镀物方法与镀物设备，且特别是涉及一种蒸镀方法与蒸镀设备。
技术介绍
有机电激发光显示装置是一种自发光型的显示装置，无需使用背光模块，故可省去背光模块的制造成本以及背光模块本身所消耗的能源。此外，由于有机电激发光显示装置无视角问题，且具有全彩化、高应答速度等特性，故有机电激发光显示装置已经成为一种兼具性能及环保概念的平面显示装置。相似地，太阳能电池也因属环保能源而成为热门的明星商品。在有机电激发光显示装置及太阳能电池的制造上，多成分蒸镀的良率为影响 发光均匀及太阳能电池效率的关键。然而，不同的有机材料蒸发(升华)温度不同，浓度及成分比例控制困难，且需避免材料裂解或化学反应。此外，不同的有机材料蒸发(升华)分子扩散速率不同，且无一定方向性，因此成分比例控制不易，且材料利用率低。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种蒸镀设备，可精确控制蒸镀材料的成分比例。本专利技术另一目的在于提供一种蒸镀方法，可精确控制蒸镀材料的成分比例。为达上述目的，本专利技术的蒸镀方法包括下列步骤。使一第一气体与一第二气体在一第一腔室混合。使混合后的第一气体与第二气体从第一腔室进入一第二腔室。使本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蒸镀方法，包括：使一第一气体与一第二气体以临界流的状态进入第一腔室并混合；使混合后的该第一气体与该第二气体从该第一腔室进入一第二腔室；以及使该第二腔室内的混合后的该第一气体与该第二气体离开该第二腔室。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：王庆钧，陈建志，黄智勇，
申请(专利权)人：财团法人工业技术研究院，
类型：发明
国别省市：